[發明專利]物理化學的電子束拋光方法無效
| 申請號： | 01118250.4 | 申請日： | 2001-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN1388274A | 公開（公告）日： | 2003-01-01 |
| 發明（設計）人： | 徐正群;周鐘霖 | 申請（專利權）人： | 環宇真空科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C25F3/16 | 分類號： | C25F3/16;B23H1/00 |
| 代理公司： | 北京銀龍專利代理有限公司 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 中國*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 物理化學 電子束 拋光 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種物理化學的電子束拋光方法，其包含：
一電解液槽，用以容置電解液及拋光元件；
一溫度控制裝置；
一電壓控制裝置，其中包含一電極裝置，一氣封產生裝置，為與上述電極裝置連接的導電線；其制造過程包含如下步驟：
(A)根據不同的待拋物調配不同濃度的電解液，電解液濃度為1-10％，以使電解溶液的濃度不致太稀影響其效率，以避免過濃傷害待拋物的品質，使金屬易產生蝕刻而削減機制表面的亮度光澤，
(B)調整溫度至70-90℃，以避免溫度太低損及氣封的穩定性且使過程有大幅的電流及電壓波動；過高時因升高電解質作用使機制品質受損、并影響氣封及電解液之間的熱平衡，
(C)調整電壓至240-380V，過高電壓易造成制品及電解液間隙的崩潰造成沖蝕，若電壓太低則制品四周氣封的穩定性受損。
2.根據權利要求1所述的物理化學的電子束拋光方法，其中在電解液內加入濃度為0.5-3％的氯化銨、硫氰銨，可延長氯化銨、硫氰銨電解液壽命50-100％。
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