[發明專利]顯示裝置

有效

• 申請號: 01117386.6
• 申請日: 2001-03-28
• 公開（公告）號: CN1320899A
• 公開（公告）日: 2001-11-07
• 發明（設計）人: 古宮直明
• 申請（專利權）人: 三洋電機株式會社
• 主分類號: G09G3/30
• 分類號: G09G3/30;H01L29/78;H01L31/12
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 鄒光新,葉愷東

本發明涉及一種具備薄膜晶體管(以下稱作TET)的顯示裝置，該薄膜晶體管控制向發光元件供給的電流。

近年來，EL顯示裝置使用場致發光元件以下稱為[EL]，并作為代替CRT或LCD的顯示裝置引起人們的關注。

作為驅動該EL元件的轉換(switch)元件，還研究開發出具備薄膜晶體管的EL顯示裝置。

圖2示出一般的EL顯示裝置的等價電路圖。

如圖2所示，EL顯示板是在絕緣性基板10上配置了與提供掃描信號的垂直側驅動器80連接的多個掃描信號線81，供給數據信號的、與從漏極側驅動器90輸出的取樣脈沖的計時對應的取樣晶體管SP1,…SPk,SPk+1…SPn接通，獲得數據信號線92的數據信號Sig的多根漏極信號線91。在這兩種信號線81、91的交錯部附近配置與這兩種信號線81、91連接的轉換用TFT30，連接該轉換用TFT30的元件驅動用TFT40和根據施加到該元件驅動用TFT40上的電壓、從元件驅動電源線100供給電流進行發光的有機EL元件60。

一電極71連接TFT30的電源11S，另一電極72在各顯示象系200中具備被施加了通用電位的保持電容70。

漏極側開始脈沖STH等的計時信號等輸送給漏極側驅動器90，垂直側開始脈沖等的計時信號等輸送給垂直側驅動器80。

而且，向各驅動器80、90供給為驅動各驅動器的驅動電壓Hvdd,Vvdd。由驅動電壓Hvdd,Vvdd驅動構成各驅動器的移位寄存器。

因此，對應于以開始信號為基礎的取樣脈沖，取樣晶體管SP接通，數據信號線92的數據信號Vdata1被供給到漏極信號線91。柵極信號從柵極信號線81被輸入到第1TFT30的柵極13，第1TFT30接通。因此，轉換信號流向TFT30的電源11S，此時的電壓Vdata2被施加到第2TFT40的柵極43上，第2TFT40的柵極接通，對應于該電壓Vdata2，元件驅動電源線100的電流流向EL元件60,EL元件60就發光。

圖3示出有機EL元件顯示裝置的顯示象素附近的平面圖，該顯示裝置具備作為切換用及元件驅動用的TFT，圖4(A)是沿圖3中的A-A線的斷面圖，圖4(B)示出沿圖3中的B-B線的斷面圖。

如圖3所示，在由柵極信號線81和漏極信號線91圍起的區域內形成顯示象素。在兩信號線的交錯部位附近具備切換用的第1TFT30，該TFT30的電源11S兼作在與后述的保持電容54之間構成電容的電容電極55的同時，連接EL元件驅動用的第2TFT40的柵極43。第2TFF的電源41S與有機EL元件60的陽極61R連接，另一漏極41D與驅動電源線100連接，該電源線100是向有機EL元件60供電的電源。

在TFT的附近與柵極信號線81并行地配置了保持電容電極線54。該保持電容電極線54由鉻等形成，通過柵極絕緣膜12在TFT30的電源11S和連接的電容電極55之間構成積蓄電荷的電容。該保持電容是為了保持第2TFT40的柵極電極43上的電壓而設置的。

如圖4所示，有機EL顯示裝置是按順序把TFT及有機元件重疊在由玻璃和/或樹脂等形成的基板或具有導電性的基板或半導體基板等的基板10上形成的。

首先，說明作為轉換用的TFF的第1TFF30。

如圖4(A)所示，用CVD法等，在由石英玻璃、無堿玻璃等構成的絕緣性基板10上形成非晶質硅膜(a-Si膜)，用激光照射該非晶質硅膜進行多結晶化，成為能動層的多結晶硅膜(p-Si膜)11。把柵極絕緣膜12重疊在p-Si膜11上。在該其上形成掃描信號線81以及AL質漏極信號線91，信號線81兼作鉻(Cr)，鉬(Mo)等的高融點金屬柵極電極，信號線91兼作漏極電極15。

在柵極絕緣膜12，柵極電極13，元件驅動電源線100及保持電容電極線54上的整個面上按SiO₂膜，SiN膜及SiO₂膜的順序重疊形成層間絕緣膜14，在對應于漏極11D而設計的接觸孔上設充填Al等的金屬的漏極電極15，而且，在整個面上形成由有機樹脂構成的、表面作平整處理的平整絕緣膜16。

接著，說明作為有機元件的驅動用TFF的第2的TFF40。