[發(fā)明專利]電致發(fā)光元件及其制造方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 01117383.1
• 申請(qǐng)日: 2001-02-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN1327360A
• 公開(kāi)（公告）日: 2001-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 青木大吾;岡部將人;小林弘典;山本學(xué);三好建也;新井浩次;岸本比呂志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大日本印刷株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H05B33/12
• 分類號(hào): H05B33/12;H05B33/10
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 曹雯,楊麗霞

本發(fā)明是關(guān)于電致發(fā)光元件(本說(shuō)明書中也稱作EL元件)，特別是關(guān)于可在顯示裝置中使用的有機(jī)薄膜EL元件，及其制造方法。

EL元件作為自發(fā)光的面狀顯示元件的應(yīng)用受到廣泛注意，其中，將有機(jī)物質(zhì)用作發(fā)光材料的有機(jī)薄膜EL顯示，即使施加10V以下電壓，也能實(shí)現(xiàn)高輝度發(fā)光，發(fā)光效率很高，以單純的元件結(jié)構(gòu)也能發(fā)光，并期望應(yīng)用于高精密的全色顯示或使特定圖案發(fā)光顯示的廣告，和其他價(jià)格低廉簡(jiǎn)易顯示用的顯示。

因此，在實(shí)際制造使用EL元件的顯示裝置時(shí)，需要電極和有機(jī)EL層形成圖案，典型講需要光石印工序(フォトリソダラフイ)和利用復(fù)雜的圖案成膜裝置形成圖案的工序，，從而帶來(lái)工序的復(fù)雜化和費(fèi)用上升。在利用掩膜蒸鍍使有機(jī)EL材料形成圖案的方法中，需要高昂的真空裝置，而且存在合格率低下，費(fèi)用升高的問(wèn)題。另一方面，利用噴墨法形成圖案的方法。雖然工序比較簡(jiǎn)單，但存在合格率低下和膜厚均勻性惡化的問(wèn)題。在要求廣告用EL元素等多種形狀和大面積化時(shí)，存在的問(wèn)題是生產(chǎn)率明顯低下。

這樣，在EL元件，特別是有機(jī)EL顯示裝置制造中，為了對(duì)電極、有機(jī)EL層和絕緣層等進(jìn)行形成圖案，工序數(shù)非常之多、合格率、生產(chǎn)率、成本等方面仍擁有很多的課題。為了提高顯示性能，最重要的是提高發(fā)光層的圖案精度，所以要求在電極上準(zhǔn)確配置發(fā)光層，而且也要求均勻配置膜厚度。

本發(fā)明的目的是提供能更為簡(jiǎn)便地制造的EL元素及其制造方法，特別是提供發(fā)光層、隔離層等構(gòu)成層獲得準(zhǔn)確圖案精度，同時(shí)發(fā)光均勻性優(yōu)良的EL元件，及其制造方法。

本發(fā)明者們發(fā)現(xiàn)，在利用光照射產(chǎn)生潤(rùn)濕性變化的成分層上進(jìn)行圖案曝光，形成由潤(rùn)濕性差異產(chǎn)生的圖案，利用這種圖案形成EL層、隔離層、絕緣層、第1電極或第2電極等，從而可解決上述課題，并完成了本發(fā)明。

因此，本發(fā)明EL元件的特征是，該EL元件是至少由第1電極、在上述第1電極上形成的EL層，和在上述EL層上形成的第2電極形成的EL元件，至少形成1層由光照射產(chǎn)生潤(rùn)濕性變化的成分層。

圖1是本發(fā)明EL元件的一例結(jié)構(gòu)示意斷面圖。

圖2是本發(fā)明EL元件的一例結(jié)構(gòu)示意斷面圖。

圖3是本發(fā)明EL元件的一例結(jié)構(gòu)示意斷面圖。

圖4是本發(fā)明EL元件的一例結(jié)構(gòu)示意斷面圖。

圖5是本發(fā)明EL元件的一例結(jié)構(gòu)示意斷面圖。

圖6是本發(fā)明EL元件的一例結(jié)構(gòu)示意斷面圖。

圖7是本發(fā)明EL元件的一例結(jié)構(gòu)示意斷面圖。

圖8是本發(fā)明EL元件的一例制造方法說(shuō)明圖。

圖9是本發(fā)明EL元件的一例制造方法說(shuō)明圖。

圖10是本發(fā)明EL元件的一例制造方法說(shuō)明圖。

圖11是例D—1中EL元件的發(fā)光特性表示圖。

EL元件

如上所述，本發(fā)明的EL元件特征是至少由第1電極、在上述第1電極上形成的EL層、和在上述EL層上形成的第2電極所形成的EL元件，至少形成1層由含有光催化劑層等光照射產(chǎn)生潤(rùn)濕性變化的成分層。本發(fā)明EL元件通常可含有用于EL元件的某些任意層。當(dāng)EL元件是將細(xì)微象素形成圖案的全色顯示的顯示時(shí)，本發(fā)明的效既大又好。

—第1種方案—

圖1是本發(fā)明EL元件的一例斷面圖，結(jié)構(gòu)是在基質(zhì)材料1上，依次由第1電極2、含光催化劑層3、EL層5和第2電極6形成積層，在含光催化劑層3中的潤(rùn)濕性變化部分3′和EL層5之間，形成另一EL層4。

—第2種方案—

圖2是用于說(shuō)明本發(fā)明第2方案中的第1種EL元件的斷面圖。圖中21是圖案狀第1電極、24是圖案狀第2電極、22是潤(rùn)濕性變化成分層、23是發(fā)光層、26是基質(zhì)材料、29是絕緣層。

如圖2所示，本發(fā)明的第1種EL元件結(jié)構(gòu)是在2個(gè)圖案狀電極21、24間夾持著與該圖案相對(duì)應(yīng)的發(fā)光層23，而且，在圖案電極21和發(fā)光層23之間形成潤(rùn)濕變化的成分層22。

潤(rùn)濕性變化的成分層22是，在設(shè)有第1電極21和絕緣層29的基質(zhì)材料26上形成積層后，其表面使用和第1電極21相同的圖案掩膜或者曝光部分使用比電極圖案更寬闊的掩膜，由光照射形成圖案，位于圖案狀第1電極21上的潤(rùn)濕性變化成分層22的表面，作為由光照射提高相對(duì)積層材料的表面潤(rùn)濕性的光照射部位，或者，作為在沒(méi)有設(shè)置圖案狀第1電極21部位的潤(rùn)濕性變化成分層22的表面不被光照射的部位，形成圖案。同樣，利用在光照射部位和不進(jìn)行光照射部位中，相對(duì)于積層材料的形成發(fā)光層材料的表面潤(rùn)濕性差異，發(fā)光層23形成圖案。這時(shí)以防止短路為目的，最好將形成圖案的電極21邊緣部分和電極21之間，用絕緣層29復(fù)蓋住。