[發(fā)明專利]高速半導(dǎo)體光電探測器

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 01117344.0
• 申請(qǐng)日: 2001-01-23
• 公開（公告）號(hào): CN1327272A
• 公開（公告）日: 2001-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 艾倫·優(yōu)吉恩·邦德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 朗迅科技公司
• 主分類號(hào): H01L31/04
• 分類號(hào): H01L31/04;H01L27/14
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 蔣世迅

1、一種半導(dǎo)體雪崩光電探測器(10)，包括：基本上不摻雜質(zhì)的放大層(14)；薄的、基本上不摻雜質(zhì)的光吸收層(16)；和摻雜質(zhì)的波導(dǎo)層(17)，該波導(dǎo)層與光吸收層相分離，并且能夠?qū)⑷肷涔庖氲焦馕諏印?/p>

2、根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，還包括與放大層一個(gè)表面相鄰的第一電荷層(13)以及與放大層另一個(gè)表面相鄰的第二電荷層(15)。

3、根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中吸收層的厚度在50-100nm的范圍內(nèi)。

4、根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中該裝置有一個(gè)本征區(qū)(14-16)，該區(qū)域包括吸收層和放大層，該本征區(qū)的厚度在300至500nm的范圍內(nèi)。

5、根據(jù)權(quán)利要求4的裝置，其中本征區(qū)還包括電荷層(18)。

6、根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中吸收層由InGaAs組成。

7、根據(jù)權(quán)利要求6的裝置，其中波導(dǎo)層由InGaAsP組成。

8、根據(jù)權(quán)利要求7的裝置，其中放大層由InAlAs組成。

9、根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中該裝置的傳輸時(shí)間限制的帶寬至少為40GHz。

10、根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中波導(dǎo)層摻雜質(zhì)的密度在7×10¹⁷cm^-3至1×10¹⁸cm^-3范圍內(nèi)。

11、一種制造雪崩光電探測器的方法，包括以下步驟

在基底之上形成基本上不摻雜質(zhì)的放大層(14)；

在放大層之上形成薄的、且基本上不摻雜質(zhì)的光吸收層(16)；和

在光吸收層之上形成分離的、摻雜質(zhì)的波導(dǎo)層(17)，該波導(dǎo)層能夠?qū)⑷肷涔庖氲焦馕諏印?/p>

12、根據(jù)權(quán)利要求11的方法，其中各層通過MOCVD形成。

13、根據(jù)權(quán)利要求11的方法，還包括在形成放大層之前，在基底之上形成第一電荷層(13)，和在形成吸收層之前，在放大層之上形成第二電荷層(15)。

14、根據(jù)權(quán)利要求11的方法，其中吸收層的厚度在50-100nm的范圍內(nèi)。

15、根據(jù)權(quán)利要求11的方法，其中吸收層和放大層形成本征區(qū)(14-16)，其厚度范圍在300-500nm。

16、根據(jù)權(quán)利要求15的方法，其中本征區(qū)還包括電荷層(15)。

17、根據(jù)權(quán)要求11的方法，其中吸收層由InGaAs組成。

18、根據(jù)權(quán)利要求17的方法，其中波導(dǎo)層由InGaAsP組成。

19、根據(jù)權(quán)利要求18的方法，其中放大層由InAlAs組成。

20、根據(jù)權(quán)利要求11的方法，其中波導(dǎo)層摻雜質(zhì)密度在7×10¹⁷cm^-3至1×10¹⁸cm^-3。

21、一種包括雪崩光學(xué)探測器(10)的光學(xué)接收器(32)，包括：

基本上不摻雜質(zhì)的放大層(14)；薄且基本上不摻雜質(zhì)的光吸收層(16)；以及摻雜質(zhì)的波導(dǎo)層(17)，該波導(dǎo)層與光吸收層相分離，并且能夠?qū)⑷肷涔庖氲焦馕諏印?/p>

22、一種光學(xué)網(wǎng)絡(luò)，包括發(fā)射機(jī)(32)，與發(fā)射機(jī)相耦合的光纖(31)，以及與光纖相耦合的光學(xué)接收器(32)，所述接收器包括雪崩光學(xué)探測器，該雪崩探測器由以下組成：

基本不摻雜質(zhì)的放大層(14)；薄且基本上不摻雜質(zhì)的光吸收層(16)；以及摻雜質(zhì)的波導(dǎo)層(17)，該波導(dǎo)層與光吸收層相分離，并且能夠?qū)⑷肷涔庖氲轿諏印?/p>