[發(fā)明專利]激光孔加工機(jī)的加工粉收集裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 01116952.4
• 申請(qǐng)日: 2001-05-11
• 公開（公告）號(hào): CN1325777A
• 公開（公告）日: 2001-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 大坪達(dá)弘;中裕之;松田直子
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B23K26/00
• 分類號(hào): B23K26/00;B23K26/16;B08B5/04
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 方曉虹

本發(fā)明涉及用激光對(duì)基體材料開孔的激光孔加工機(jī)的加工粉收集裝置。

以往，在基體材料上開直徑為數(shù)百μm～數(shù)十μm的小孔的激光孔加工機(jī)的加工粉收集裝置存在如下問題：因?yàn)榛挠杉す庹丈淙紵判纬煽?，故在孔加工過程中微粒子粉塵隨燒焦的煙等一起飛散，致使加工現(xiàn)場(chǎng)的環(huán)境惡化或粉塵粘在鏡頭上、或基材中含有的物質(zhì)對(duì)鏡頭產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)等，導(dǎo)致加工效率下降等。

為此，有必要在加工時(shí)將產(chǎn)生的粉塵除去，而作為這種粉塵的除去裝置，一般采用在鏡頭和基材之間形成集塵空間并從該集塵空間的一方供氣而在另一方排氣以回收微粒子粉塵(俗稱推挽式)的集塵方法。

該推挽式集塵方法會(huì)因其給排氣口位置以及給排氣能力的不同而導(dǎo)致集塵能力的極大變化。

尤其在要集塵的基材的集塵空間不能形成封密的空間時(shí)，比如，為了鏡頭的上下移動(dòng)、基材的移動(dòng)等，有時(shí)需要在基材的集塵空間內(nèi)留有間隙，而一旦該基材的集塵空間內(nèi)存在間隙，則僅靠給氣和排氣，其集塵能力就不充分，加工孔時(shí)粉塵會(huì)留在基材上，產(chǎn)生鏡頭受粉塵污染變質(zhì)等問題。

本發(fā)明正是為了解決上述問題，其目的是提供一種激光孔加工機(jī)的加工粉收集裝置，通過從給氣口至排氣口的集塵用氣流而有效地將粉塵從排氣口排出。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的激光孔加工機(jī)的加工粉收集裝置具有：激光聚光用的鏡頭、用于上下移動(dòng)該鏡頭以對(duì)焦的鏡頭臺(tái)、使基材孔加工時(shí)產(chǎn)生的粉塵跟隨從給氣口至排氣口的排氣流流動(dòng)而被回收的集塵機(jī)、移動(dòng)基材用的移動(dòng)裝置，其特征在于，所述集塵機(jī)在鏡頭與基材之間具有用四個(gè)側(cè)壁圍起的集塵空間，同時(shí)在該集塵空間的互為相對(duì)的側(cè)壁上設(shè)有給氣口和排氣口，前述給氣口上下分開形成，從該給氣口供給集塵空間的總供氣量為從排氣口排出的排氣量的30～70％，同時(shí)下方給氣口的供氣量是上方給氣口的供氣量的1.5～4.5倍。

在該結(jié)構(gòu)中，為了使由下方給氣形成的氣流更有效，在上方另設(shè)一給氣口并從該給氣口向排氣側(cè)形成氣流，同時(shí)下方給氣口的供氣量是上方給氣口的供氣量的1.5～4.5倍，通過增加基材附近的下方給氣口的供氣量來抑制來自下方給氣口的氣流的擴(kuò)散，與僅從下方給氣口供氣的場(chǎng)合相比，能更有效地將粉塵運(yùn)至排氣口。

本發(fā)明中，最好在從給氣口至排氣口的排氣方向兩側(cè)的一對(duì)側(cè)壁下面形成多個(gè)相對(duì)排氣方向向內(nèi)傾斜20～50度的整流槽。

在這種場(chǎng)合下可解決已有技術(shù)的如下問題：由于從前述一對(duì)側(cè)壁的下面和基材之間隨排氣流流入集塵空間的外氣的流入方向與前述排氣方向基本垂直，故排氣方向的氣流會(huì)發(fā)生紊亂而導(dǎo)致集塵能力下降。

即，通過在前述一對(duì)側(cè)壁的下面形成多個(gè)相對(duì)從給氣口至排氣口的排氣方向而朝內(nèi)傾斜20～50度的整流槽，使與除去加工粉塵用的排氣方向的氣流基本垂直的氣流變成與排氣方向同向的傾斜方向，使集塵用的排氣順暢，集塵能力提高。

另外，最好在設(shè)有排氣口的側(cè)壁的下面與基材之間形成的間隙中配設(shè)關(guān)閉該間隙的關(guān)閉構(gòu)件并使其前端部插入集塵空間內(nèi)，且該關(guān)閉構(gòu)件具有向著排氣口向上傾斜的傾斜面。

在這種情況下，關(guān)閉構(gòu)件可阻礙空氣從排氣口側(cè)的側(cè)壁下面與基材之間的間隙流入，從而可防止逆流方向的外氣從該間隙流入。另外，該關(guān)閉構(gòu)件具有前述向上傾斜的傾斜面，故流向排氣口的氣流可由該傾斜面向著排氣口整流，使集塵用的排氣流順暢流動(dòng)，集塵能力提高。

另外最好設(shè)置圍住鏡頭臺(tái)四周及集塵空間上方的側(cè)板，且該側(cè)板與鏡頭臺(tái)外壁之間的面對(duì)面間隙為1mm以下，該間隙的上下寬度為15mm以上。

在這種情況下可解決以下以往的問題：由于鏡頭需上下移動(dòng)以對(duì)焦，故鏡頭臺(tái)的下面和集塵空間的上面之間要形成較大間隙，空氣會(huì)從該間隙流入集塵空間并與除去加工粉塵用的排氣流發(fā)生沖突而擾亂該排氣流的流動(dòng)。

即，上述結(jié)構(gòu)基本消除了前述的間隙(約為傳統(tǒng)裝置的1/6)，幾乎沒有空氣從鏡頭臺(tái)周圍的間隙流入，而且鏡頭臺(tái)仍能順利地上下移動(dòng)。

通過以下的附圖及詳細(xì)說明能清楚地了解本發(fā)明的上述目的及特征。本發(fā)明的各特征可盡可能地進(jìn)行單獨(dú)或各種組合復(fù)合使用。

附圖的簡(jiǎn)單說明

圖1是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的激光孔加工機(jī)的加工粉收集裝置的示意剖視圖。

圖2是圖1的激光孔加工機(jī)的加工粉收集裝置的示意仰視圖。

以下參照?qǐng)D1說明本發(fā)明的幾個(gè)較佳實(shí)施形態(tài)，以助于對(duì)本發(fā)明的理解。