[發明專利]靜電疊層式蘭姆波微型傳感器

無效

• 申請號: 01116718.1
• 申請日: 2001-04-20
• 公開（公告）號: CN1382979A
• 公開（公告）日: 2002-12-04
• 發明（設計）人: 吳一輝;弗朗西思.貝思汀;米歇爾.羅勃切羅爾;賈宏光;鞠揮
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01N27/22
• 分類號: G01N27/22;G01N21/45
• 代理公司: 長春科宇專利代理有限責任公司
• 代理人: 梁愛榮

1、一種靜電疊層式蘭姆波微型傳感器，其特征在于：襯底1、薄膜2，金屬層分別為3和4、凸臺5、接收窗口6、叉指電極7、齒狀支撐8、凸臺9、襯底10、氧化層11，傳感器由上下兩層結構構成分別是襯底1和襯底10，在襯底1的本體上制備有薄膜2，在薄膜2的上下表面制備金屬層分別為3和4，在襯底1本體上對稱位置制備有兩個凸臺5，在襯底10的本體上制備有接收窗口6、齒狀支撐8和兩個凸臺9，在齒狀支撐8的齒間制備有叉指電極7，兩個凸臺5的底部與兩個凸臺5的上部連接。