[發(fā)明專利]蔭罩的洗凈方法和洗凈裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 01116680.0 | 申請日： | 2001-04-18 |
| 公開（公告）號： | CN1147901C | 公開（公告）日： | 2004-04-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 澤田義昭;平山和成 | 申請（專利權(quán)）人： | 東芝株式會社 |
| 主分類號： | H01J9/14 | 分類號： | H01J9/14;B08B3/12 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人： | 孫敬國 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 洗凈 方法 裝置 | ||
【說明書】：
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