[發(fā)明專利]使用粘結(jié)劑制造半導(dǎo)體器件無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 01116007.1 | 申請日: | 2001-05-08 |
| 公開(公告)號: | CN1323062A | 公開(公告)日: | 2001-11-21 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 瑪麗·吉約;帕迪·奧謝 | 申請(專利權(quán))人: | 通用半導(dǎo)體愛爾蘭公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50 |
| 代理公司: | 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人: | 李輝,谷慧敏 |
| 地址: | 愛爾蘭*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 使用 粘結(jié) 制造 半導(dǎo)體器件 | ||
1.一種組裝包括相互堆疊在一起的多個接線端和至少一個半導(dǎo)體組件的半導(dǎo)體器件的方法,所述方法包括步驟:
提供第一接線端,第一焊料預(yù)型件,第一半導(dǎo)體組件,第二焊料預(yù)型件,和第二接線端;
提供第一,第二,第三和第四粘結(jié)體;
把第一接線端,第一粘結(jié)體,第一焊料預(yù)型件,第二粘結(jié)體,第一半導(dǎo)體組件,第三粘結(jié)體,第二焊料預(yù)型件,第四粘結(jié)體,和第二接線端順序地相互堆疊;和
把堆棧加熱到足以軟化焊料預(yù)型件的溫度,從而形成焊接點(diǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一,第二,第三和第四粘結(jié)體是流體小滴,所述流體小滴濕潤其接觸的表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一,第二,第三和第四粘結(jié)體是水滴。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其中所述水滴是去離子水滴。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中加熱堆棧的步驟包括在還原性氣氛中加熱堆棧的步驟。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中堆疊步驟是在一個夾具的型腔中執(zhí)行的。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中粘結(jié)體之一和與之接觸的表面之間的界面的表面積小于第一半導(dǎo)體組件表面的表面積。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其中所述界面的所述表面積小到足以使焊接點(diǎn)的電和熱性質(zhì)改變到無實(shí)質(zhì)作用的程度。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述粘結(jié)體是由實(shí)際上非導(dǎo)電材料形成的。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述半導(dǎo)體器件是整流器。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中粘結(jié)體具有足以保持形成堆棧的組件的對準(zhǔn)的粘結(jié)強(qiáng)度。
12.一種組裝包括相互堆疊的多個接線端和至少一個半導(dǎo)體組件的半導(dǎo)體器件的方法,所述方法包括步驟:
提供第一接線端,第一焊料元件,第一半導(dǎo)體組件,第二焊料元件,和第二接線端,其中所述焊料元件包括一種把粘結(jié)性質(zhì)賦予所述焊料元件的實(shí)際上非導(dǎo)電組分;
把第一接線端,第一焊料元件,第一半導(dǎo)體組件,第二焊料元件,和第二接線端順序地相互堆疊;和
將堆棧加熱到足以使焊料元件軟化從而形成焊接點(diǎn)的溫度。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中所述焊料元件是以漿料形式提供的。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中所述焊料元件是以剛性預(yù)型件提供的。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中在一個夾具的型腔中執(zhí)行堆疊步驟。
16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中所述半導(dǎo)體器件是整流器。
17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中焊料元件具有足以保持形成堆棧的組件的對準(zhǔn)的粘結(jié)強(qiáng)度。
18.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其中所述流體小滴是基于溶劑的流體小滴。
19.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法,其中焊料元件的所述非導(dǎo)電組分包括一種熱固性材料。
20.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法,其中焊料元件的所述非導(dǎo)電組分包括一種熱塑性材料。
21.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法,其中焊料元件的所述非導(dǎo)電組分包括一種熱塑性材料和一種熱固性材料。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





