[發明專利]去除納米氧化鋁模板背面剩余鋁的方法無效
| 申請號： | 01113724.X | 申請日： | 2001-06-21 |
| 公開（公告）號： | CN1393578A | 公開（公告）日： | 2003-01-29 |
| 發明（設計）人： | 范繼存;孟國文;郜濤;張立德 | 申請（專利權）人： | 中國科學院固體物理研究所 |
| 主分類號： | C23F1/36 | 分類號： | C23F1/36 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安專利代理有限責任公司 | 代理人： | 胡濟元 |
| 地址： | 230031*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 去除 納米 氧化鋁 模板 背面 剩余 方法 | ||
【權利要求書】：
1、一種去除納米氧化鋁模板背面剩余鋁的方法，其特征在于：將待去除剩余鋁的納米氧化鋁模板置于活性低于鋁的金屬氯化物飽和溶液中浸潤0.5分鐘以上，之后用水沖洗浸潤面。
2、根據權利要求1所述的方法，其特征是活性低于鋁的金屬氯化物飽和溶液為四氯化錫飽和溶液或氯化銅飽和溶液或氯化鐵飽和溶液。
3、根據權利要求1所述的方法，其特征是水為去離子水。
4、根據權利要求1所述的方法，其特征是在將待去除剩余鋁的納米氧化鋁模板置于金屬氯化物飽和溶液中浸潤之前，先將其置于強堿性溶液中浸潤0.5分鐘以上，再用水沖洗干凈。
5、根據權利要求1所述的方法，其特征是強堿性溶液為氫氧化納溶液或氫氧化鉀溶液。
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