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[發明專利]基于絕緣體上的硅(SOI)材料的全內反射型陣列波導光柵器件及制法無效

專利信息
申請號: 01113309.0 申請日: 2001-07-07
公開(公告)號: CN1160894C 公開(公告)日: 2004-08-04
發明(設計)人: 江曉清;王明華;李柏陽;李錫華;周強 申請(專利權)人: 浙江大學
主分類號: H04J14/02 分類號: H04J14/02;H04B10/12;G02B6/12;G02B6/26
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 31002*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 基于 絕緣體 soi 材料 反射 陣列 波導 光柵 器件 制法
【說明書】:
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