[發明專利]金剛石復合涂層拉絲模制備方法有效

申請號：	01113027.X	申請日：	2001-05-31
公開（公告）號：	CN1327084A	公開（公告）日：	2001-12-19
發明（設計）人：	沈荷生;張志明;郭松壽	申請（專利權）人：	上海交通大學
主分類號：	C23C16/27	分類號：	C23C16/27;B21C3/02
代理公司：	上海交通大學專利事務所	代理人：	毛翠瑩
地址：	200030***	國省代碼：	上海;31
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	金剛石復合涂層拉絲制備方法
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1、一種金剛石復合涂層拉絲模制備方法，以大孔徑硬質合金拉絲模為襯底，經稀鹽酸滴加雙氧水腐蝕，清洗后用穿孔熱絲CVD法首先沉積一層常規金剛石薄膜，其特征在于當常規涂層達到10～20微米后，開始原位沉積納米金剛石涂層，反應氣體壓力降低到0.5～2KPa，碳源體積濃度增加到2％～6％，并添加Ar氣，Ar/H₂體積比為0.3～2，沉積得到納米金剛石膜后組成復合金剛石涂層，再對涂層進行研磨拋光。

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海交通大學，未經上海交通大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/01113027.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。