[發明專利]改善有機蒸發鍍膜成膜性能的方法

無效

• 申請號: 01111412.6
• 申請日: 2001-03-07
• 公開（公告）號: CN1369921A
• 公開（公告）日: 2002-09-18
• 發明（設計）人: 初國強;劉星元;劉云;王立軍
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H05B33/10
• 代理公司: 長春科宇專利代理有限責任公司
• 代理人: 李恩慶

1、一種改善有機蒸發鍍膜成膜性能的方法，其特征是在有機蒸發鍍膜成膜方法上，采用一種輔助沉積方法，所用的方法包括增加蒸發分子的能量，加大分子的遷移率，和轟擊有機層膜，抑制、減少和消除有機層柱狀結構的形成；所述的方法具體地是在蒸發鍍膜的密閉容器內，增設一種裝置，該裝置使蒸發源上被蒸發的有機分子能量增加，同時轟擊有機層，給有機層分子提供額外的激活能。

2、根據權利要求1所述的改善有機蒸發鍍膜成膜性能的方法，其特征是所用的輔助沉積方法是離子輔助沉積，利用離子具有的能量，傳遞給蒸發分子，使分子遷移率變大，同時轟擊有機層，將有機層“轟平”；離子作用在分子上的能量為上0.1ev～10ev。

3、根據權利要求2所述的改善有機蒸發鍍膜成膜性能的方法，其特征是所述的離子輔助沉積方法所使用的裝置是考夫曼源。

4、根據權利要求1所述的改善有機蒸發鍍膜成膜性能的方法，其特征是所用的輔助沉積方法是電場輔助沉積，利用輔加電場增加蒸發分子能量，加大分子遷移率，消除有機層柱狀結構；電場裝置安裝在襯底和蒸發源之間，并盡量靠近襯底。

5、根據權利要求4所述的改善有機蒸發鍍膜成膜性能的方法，其特征是安裝在襯底和蒸發源的電場裝置是兩片相對金屬板，形狀可以是長方形的，外接電源電壓為1000伏～3000伏。

6、根據權利要求5所述的改善有機蒸發鍍膜成膜性能的方法，其特征是使用霓虹燈電源并加一調壓器調節輸出電壓。