[發明專利]磁記錄媒體器件的經氟化處理的類金剛石碳保護覆層

無效

• 申請號: 01103032.1
• 申請日: 1995-10-17
• 公開（公告）號: CN1332446A
• 公開（公告）日: 2002-01-23
• 發明（設計）人: A·格里爾;V·V·帕特爾
• 申請（專利權）人: 國際商業機器公司
• 主分類號: G11B5/72
• 分類號: G11B5/72;G11B5/255;C23C16/27
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 王忠忠

1.一種在其表面上涂有耐磨的經氟化處理的類金剛石碳膜的器件，所述碳膜包括在大約10％和大約70％之間的原子的氟。

2.根據權利要求1的器件，其特征在于該碳膜的F/(F＋C)的原子比最好在大約10％和大約40％之間。

3.根據權利要求1的器件，其特征在于該碳膜所含的氫原子濃度在大約0和大約40％原子之間，最好在大約0和大約20％原子之間。

4.根據權利要求1的器件，其特征在于，在初始負載為300MPa的情況下，當在用410C滾珠軸承鋼所組成的銷在銷-盤摩擦測試臺上測試時，該碳膜磨損率不大于70nm/千轉。

5.根據權利要求1的器件，其特征在于該碳膜最好具有不大于1nm/千轉的磨損率。

6.根據權利要求1的器件，其特征在于該碳膜具有減低的濕潤度。

7.根據權利要求1的器件，其特征在于該碳膜具有低靜摩擦力，以及提高了的耐磨性。

8.根據權利要求1的器件，其特征在于該碳膜淀積在一層涂覆在所述器件表面上的未經氟化處理的類金剛石碳膜上。

9.一種形成耐磨的經氟化處理的類金剛石碳膜的方法，采用離子輔助淀積技術，利用從六氟苯和氫以及五氟苯和氫所組成的物質組中所選出的反應劑混合物而制成所述耐磨的經氟化處理的類金剛石碳膜。

10.根據權利要求9的方法，其特征在于還包括以下步驟：

使襯底受到負偏壓的作用。

11.根據權利要求9的方法，其特征在于所述離子輔助淀積技術是等離子體輔助化學蒸氣淀積技術。

12.根據權利要求9的方法，其特征在于所述碳膜淀積在一層未經氟化處理的類金剛石碳膜上。

13.一種使用耐磨的經氟化處理的類金剛石碳膜的方法，包括在大約10和大約70％原子之間的氟，作為保護性涂層。

14.根據權利要求13的方法，其特征在于所述碳膜用作低摩擦力耐磨涂層。

15.根據權利要求13的方法，其特征在于所述碳膜用作減低了靜摩擦力的涂層。

16.根據權利要求13的方法，其特征在于所述碳膜淀積在一層未經氟化處理的類金剛石碳膜上。

17.一種經氟化處理的類金剛石碳膜，在其整個厚度上含有大約10％和大約70％原子之間的氟。

18.一種形成經氟化處理的類金剛石碳膜的方法，采用離子輔助淀積技術，利用從六氟苯和氫以及五氟苯和氫所組成的物質組中所選出的反應劑混合物而制成所述經氟化處理的類金剛石碳膜。