[發明專利]測定坐標測量儀中測量誤差的方法和坐標測量儀計量器

無效

• 申請號: 01102415.1
• 申請日: 2001-01-31
• 公開（公告）號: CN1368631A
• 公開（公告）日: 2002-09-11
• 發明（設計）人: 松田次郎;淺沼進;柴田政典
• 申請（專利權）人: 日本國經濟產業省產業技術總合研究所;株式會社淺沼技研;松田次郎
• 主分類號: G01B5/008
• 分類號: G01B5/008
• 代理公司: 北京銀龍專利代理有限公司
• 代理人: 皋吉甫

1.一種用于測定坐標測量儀中測量誤差的方法，其中探針頭沿三個相互正交的儀器軸相對于待測量物體移動，包括：

第一步驟，在坐標測量儀的測量臺上放置所述測量儀計量器，所述計量器具有多個球，所述球的中心在一相對于計量器的參考軸傾斜的直線上至少排成一行，所述參考軸處于一虛擬參考面內并沿所述虛擬參考面延伸，設置該計量器使得所述虛擬參考面與坐標測量儀的三個儀器軸之一平行并使得所述虛擬參考面與坐標測量儀的剩下兩儀器軸任一軸平行；

第二步驟，用所述測量儀測量每個球中心相對于所述兩儀器軸的坐標；

第三步驟，將所述計量器繞所述參考軸旋轉180度，并再次將計量器放置在坐標測量儀的測量臺上；以及

第四步驟，用所述測量儀再測量每個球中心相對于兩儀器軸的坐標。

2.如權利要求1所述的方法，其中所述的兩儀器軸中的一個軸是X儀器軸，兩儀器軸中另一個軸是Y儀器軸，進一步包括：根據第二步驟中獲得的在垂直于計量器參考軸方向上所述球中心的Y儀器軸坐標以及第四步驟獲得的所述球中心的Y儀器軸坐標，測定已測定的X儀器軸的平直度，所述測定步驟包括：

在第一計算步驟中，計算在所述第二和第四步驟中獲得的所有球的Y儀器坐標之間的差值；

確定在第一計算步驟中獲得的所有球的最大和最小差值；以及

在第二計算步驟中，計算在所述確定步驟中確定的最大和最小值之間的差值。

3.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

從在第二步驟中獲得的相對于兩儀器軸的所述球中心坐標計算第一回歸線，由此計算第一回歸線和參考軸之間的角度θ；

從在第四步驟中獲得的相對于兩儀器軸的所述球中心坐標計算第二回歸線，由此計算第二回歸線和參考軸之間的角度θ’；

以及通過計算(θ-θ’)/2以便測定與虛擬參考面平行的兩儀器軸的相互正交性。

4.一種坐標測量儀計量器，用于實現沿至少兩儀器軸的測量，所述的測量儀具有包括探針頭的探針，所述計量器包括；

多個球，其與探針頭接觸排列；以及

支撐所述球的支架，使得所述球的中心沿至少一條傾斜于的參考軸并且沿虛擬參考面延伸的線延伸，所述參考軸位于虛擬參考面內，所述支架能連接到坐標測量儀上，使得虛擬參考面平行于所述兩儀器軸，并使得參考軸平行于兩儀器軸中之一軸。

5.如權利要求4所述的計量器，其中所述的至少一條線包括兩條線，所述支架由具有兩非平行側面的梯形塊構成，每側面各平行于兩條線中的一條；所述球沿所述兩條線排列和固定。

6.如權利要求4所述的計量器，其中，所述的至少一條線包括兩條線；所述的支架由具有非平行側面的梯形通孔的塊構成，每側面各平行于所述的兩條線中的一條；所述的球沿所述的兩條線排列和固定。