[發(fā)明專利]化學(xué)放大型正光刻膠組合物

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 01102176.4
• 申請(qǐng)日: 2001-01-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN1312488A
• 公開(kāi)（公告）日: 2001-09-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 上谷保則;金晟賢;高田佳幸
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/039
• 分類號(hào): G03F7/039
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 李悅

1．一種化學(xué)放大型正光刻膠組合物，含有樹(shù)脂(X)，其本身不溶于堿或微溶于堿，但當(dāng)被酸作用后可溶于堿，其具有(a)一種衍生于1-金剛烷基-1-烷基烷基(甲基)丙烯酸酯的聚合單元，由下式(Ⅰ)表示：其中，R¹表示氫或甲基，R²和R³分別獨(dú)立地表示具有1-4個(gè)碳原子的烷基，R⁴和R⁵分別獨(dú)立地表示氫、羥基或烷基，(b)衍生于脂環(huán)烯烴的聚合單元，由下式(Ⅱ)表示：其中R⁶、R⁷分別表示氫、具有1-3個(gè)碳原子的烷基，具有1-3個(gè)碳原子的羥基烷基，羧基，氰基，或-COOR⁸表示的基團(tuán)，其中R⁸表示醇?xì)埢騌⁶和R⁷一起形成由-C(=O)OC(=O)-表示的羧酸酐殘基，和(c)衍生于選自馬來(lái)酸酐和衣康酸酐的不飽和二羧酸酐的聚合單元；和產(chǎn)酸劑(Y)。

2．按照權(quán)利要求1的正光刻膠組合物，其中1-金剛烷基-1-烷基烷基(甲基)丙烯酸酯為1-(1-金剛烷基)-1-甲基乙基丙烯酸酯。

3．按照權(quán)利要求1的正光刻膠組合物，其中式(Ⅰ)中的R¹為氫。

4．按照權(quán)利要求1的正光刻膠組合物，其通過(guò)包括從其衍生出式(Ⅰ)聚合單元的1-金剛烷基-1-烷基烷基(甲基)丙烯酸酯；從其衍生出式(Ⅱ)聚合單元的脂環(huán)烯烴；和選自馬來(lái)酸酐和衣康酸酐的不飽和二羧酸酐的單體進(jìn)行共聚獲得，其中基于共聚中使用的所有單體總量，1-金剛烷基-1-烷基烷基(甲基)丙烯酸酯的用量為5-60％摩爾，脂環(huán)烯烴和不飽和二羧酸酐的用量為10-95％摩爾。

5．按照權(quán)利要求1的正光刻膠組合物，其中所述樹(shù)脂(X)進(jìn)一步含有衍生于1-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯的聚合單元，由下式(Ⅴ)表示：其中R⁹表示氫或甲基，R¹⁰表示氫或羥基。

6．按照權(quán)利要求5的正光刻膠組合物，其中式(Ⅴ)中的R⁹為氫。

7．按照權(quán)利要求1的正光刻膠組合物，其中還進(jìn)一步含有胺化合物作為猝滅劑。