[發明專利]硅、金屬、介質膜橋射頻微機電系統開關無效
| 申請號： | 01102116.0 | 申請日： | 2001-01-21 |
| 公開（公告）號： | CN1127106C | 公開（公告）日： | 2003-11-05 |
| 發明（設計）人： | 金玉豐;張錦文;郝一龍;張大成;王陽元 | 申請（專利權）人： | 北京大學 |
| 主分類號： | H01H13/702 | 分類號： | H01H13/702 |
| 代理公司： | 北京君尚知識產權代理事務所 | 代理人： | 余長江 |
| 地址： | 100871 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬 介質 射頻 微機 系統 開關 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于北京大學，未經北京大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/01102116.0/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
