1.一種高溫?zé)崃鞴饪讨圃旆椒?，其包括?/p>

提供一高溫?zé)崃鞴庵驴刮g劑；

在該高溫?zé)崃鞴庵驴刮g劑中加入一交聯(lián)試劑，以形成一高溫?zé)崃鹘宦?lián)光致抗蝕劑；

提供一基底，該基底上形成有一絕緣層；

在該絕緣層上，形成一高溫?zé)崃鹘宦?lián)光致抗蝕劑層；

進(jìn)行一曝光制造工藝；

進(jìn)行一顯影制造工藝；以及

進(jìn)行一熱流制造工藝。

2.如權(quán)利要求1所述的高溫?zé)崃鞴饪讨圃旆椒?，其中該交?lián)試劑包括具有羥基苯甲酸結(jié)構(gòu)的一聚合物。

3.如權(quán)利要求1所述的高溫?zé)崃鞴饪讨圃旆椒?，其中該熱流制造工藝的溫度為攝氏150度至160度之間。

4.如權(quán)利要求1所述的高溫?zé)崃鞴饪讨圃旆椒?，其中該高溫?zé)崃鹘宦?lián)光致抗蝕劑中所含的該交聯(lián)試劑為2％至5％之間。

5.一種提高高溫?zé)崃鞴饪讨圃旃に嚨闹圃旃に囋６鹊姆椒?，其包括?/p>

提供一基底，該基底上形成有一絕緣層；

在該絕緣層上，形成一光致抗蝕劑層，其中該光致抗蝕劑層中含有具多個(gè)交聯(lián)官能團(tuán)的一聚合物；

進(jìn)行一軟烤制造工藝；

進(jìn)行一曝光制造工藝；

進(jìn)行一硬烤制造工藝；

進(jìn)行一顯影制造工藝；以及

進(jìn)行一高溫制造工藝，以使該光致抗蝕劑產(chǎn)生熱流以及使該聚合物產(chǎn)生交聯(lián)作用。

6.如權(quán)利要求5所述的提高高溫?zé)崃鞴饪讨圃旃に嚨闹圃旃に囋６鹊姆椒?，其中該些交?lián)官能團(tuán)包括羧基。

7.如權(quán)利要求5所述的提高高溫?zé)崃鞴饪讨圃旃に嚨闹圃旃に囋６鹊姆椒?，其中該聚合物包括具有羥基苯甲酸結(jié)構(gòu)的一聚合物。

8.如權(quán)利要求5所述的提高高溫?zé)崃鞴饪讨圃旃に嚨闹圃旃に囋６鹊姆椒?，其中該高溫制造工藝的溫度為攝氏150度至160度之間。

9.如權(quán)利要求5所述的提高高溫?zé)崃鞴饪讨圃旃に嚨闹圃旃に囋６鹊姆椒?，其中該高溫?zé)崃鹘宦?lián)光致抗蝕劑中所含的該交聯(lián)試劑為2％至5％之間。