[發明專利]具有受控制的小型環境的晶片大氣壓輸送組件

有效

• 申請號: 00813643.2
• 申請日: 2000-09-28
• 公開（公告）號: CN1377510A
• 公開（公告）日: 2002-10-30
• 發明（設計）人: 法羅·F·凱維;戴維·E·雅各布;蒂恩·杰伊·拉森;馬汀·R·馬拉欽
• 申請（專利權）人: 拉姆研究公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 李輝

1.一種大氣壓輸送組件，包括一外殼，該外殼具有：

一頂部，具有一鼓風機，用以產生一向下并遠離該頂部的調節氣流；

一負載單元區，與該鼓風機橫向偏開，該負載單元包括一架子，用以支撐一晶片盒，該架子與該負載單元的一個壁分離以形成一轉向氣流槽；及

一穿孔板片，限定于該鼓風機的下方，該穿孔板片用以限制通過該穿孔板片的氣流，并用以誘發一轉向氣流通過該晶片盒。

2.根據權利要求1所述的大氣壓輸送組件，其中該大氣壓輸送組件用以連接一個或多個真空預備室。

3.根據權利要求2所述的大氣壓輸送組件，還包括：

一機器人，具有一手臂組，用以在該晶片盒與該一個或多個真空預備室之間傳送晶片。

4.根據權利要求1所述的大氣壓輸送組件，其中該穿孔板片被選擇以限制一氣流流量，并根據通過該穿孔板片限制的氣流流量以及來自該鼓風機的調節氣流的速度，調整該誘發的轉向氣流。

5.根據權利要求4所述的大氣壓輸送組件，其中通過該晶片盒的轉向氣流至少部分地平行于該晶片盒中所包括的一個或多個晶片。

6.根據權利要求5所述的大氣壓輸送組件，其中將流經該晶片盒的轉向氣流經由該轉向氣流槽引導至該架子和該穿孔板片下方的區域。

7.根據權利要求6所述的大氣壓輸送組件，其中來自該鼓風機且由該穿孔板片限制的氣流至少部分地作為非轉向氣流流過該穿孔板片，并進入該架子和該穿孔板片下方的區域。

8.根據權利要求7所述的大氣壓輸送組件，其中引導進該架子和該穿孔板片下方區域的該轉向氣流和該非轉向氣流經由一排氣口被排出至該大氣壓輸送組件外。

9.根據權利要求1所述的大氣壓輸送組件，其中該負載單元具有至少一個門，用以插入或移除該晶片盒。

10.根據權利要求1所述的大氣壓輸送組件，還包括：

一風扇，位于該架子的下方，該風扇經由該轉向氣流槽將該轉向氣流抽入該架子和該穿孔板片下方形成的一區域；

一連鎖機構，將該風扇耦合到該負載單元的一個門，使得在該負載單元的該門打開時關閉該風扇。

11.根據權利要求10所述的大氣壓輸送組件，其中在該架子和該穿孔板片下方形成有一排氣口，用以從該外殼內除去氣流。

12.根據權利要求1所述的大氣壓輸送組件，其中該外殼還包括：

一過濾器，與該鼓風機結合在一起。

13.根據權利要求1所述的大氣壓輸送組件，其中該晶片盒為一開放的晶片盒。

14.根據權利要求1所述的大氣壓輸送組件，其中該穿孔板片上方所形成的外殼內部以及該穿孔板片由電拋光不銹鋼所制成。

15.根據權利要求1所述的大氣壓輸送組件，其中該負載單元的架子用以支撐一個或多個晶片盒。

16.根據權利要求15所述的大氣壓輸送組件，其中該一個或多個晶片盒分別被分隔壁所包圍。

17.根據權利要求7所述的大氣壓輸送組件，其中該轉向氣流具有的平均速度范圍在約10英尺/分鐘到80英尺/分鐘之間；而該非轉向氣流的平均速度范圍則在約40英尺/分鐘到120英尺/分鐘之間。

18.一種大氣壓輸送組件，包括：

一封閉式外殼，具有一頂部區、一中央區、一底部區、以及一負載單元區；

一鼓風機，位于該封閉式外殼的頂部區，用以產生一氣流并向下流進該中央區；

一架子，在該封閉式外殼的中央區與底部區之間形成一分隔線，該架子至少部分地與該負載單元區的一個壁相間隔開，從而形成一個槽；以及

一穿孔板片，從該架子延伸，并進一步在該中央區與該底部區之間形成該分隔線；

限制該鼓風機所產生的氣流自由地穿過該穿孔板片，并且使該氣流部分地轉向到朝該負載單元的架子方向流動，經由該槽而進入該封閉式外殼的底部區。

19.根據權利要求18所述的大氣壓輸送組件，其中具有一個或多個晶片的一晶片盒置于該負載單元的架子上。