[發明專利]顯微制造的器件中的移位的磁傳感

無效

• 申請號: 00812674.7
• 申請日: 2000-09-06
• 公開（公告）號: CN1373891A
• 公開（公告）日: 2002-10-09
• 發明（設計）人: 彼得·布洛克爾;克里斯托夫·P·羅塞爾;米歇爾·威爾明
• 申請（專利權）人: 國際商業機器公司;菲西克研究院
• 主分類號: G12B21/08
• 分類號: G12B21/08;G12B21/04;G01B7/34;G01N27/00;G11B21/21;G11B9/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 王志森,黃小臨

1.一種磁傳感單元，用于測量微型器件中的可動部分(10)和固定部分(12)之間的位移，包括：

具有磁場的磁性元件(1)；以及

磁傳感器(2)；

所述磁性元件(1)位于可動部分(10)上，所述磁傳感器(2)位于所述固定部分(12)上；或者所述磁傳感器(2)位于可動部分(10)上，所述磁性元件(1)位于所述固定部分(12)上；

所述磁傳感器(2)和/或所述磁性元件(1)是所述微型器件的一個集成部分，以及

所述磁性元件(1)和所述磁傳感器(2)彼此相對配置，當所述可動部分(10)位移時，通過利用所述磁傳感器(2)可檢測在所述磁傳感器(2)處的所述磁場的變化。

2.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，與磁性元件(1)相對配置磁傳感器(2)。

3.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，利用磁傳感器(2)的檢測是一種無接觸檢測。

4.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，由間隙(13)將可動部分(10)與固定部分(12)分開。

5.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，磁性元件(1)是一永久磁鐵。

6.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，磁性元件(1)包括一磁性層(1)，優選由硬磁材料制成。

7.根據權利要求6所述的一種磁傳感單元，其特征在于，磁性層(1)具有一矩形橫斷面和/或一個厚度，使得通過利用磁傳感器(2)能檢測磁場梯度。

8.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，將磁傳感器(2)集成到可動部分(10)或固定部分(12)之中或頂部，使得磁傳感器(2)是微型器件中的一個集成部分。

9.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，該微型器件包含硅，磁傳感器(2)集成到硅之中。

10.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，磁傳感器(2)是一霍爾傳感器、磁控晶體管、磁控二極管或一大型的磁致電阻傳感器。

11.根據權利要求10所述的一種磁傳感單元，其特征在于，磁傳感器(2)是一霍爾傳感器，該霍爾傳感器具有平面或圓柱形幾何形狀。

12.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，磁傳感器(2)的配置，使磁傳感器(2)和后續的測量器件能夠確定磁場的磁場梯度。

13.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，可動部分(10)和固定部分(12)是由相同材料制成的。

14.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，可動部分(10)通過利用附著裝置(14a，14b)優選通過支臂附著到固定部分(12)，所述附著裝置(14a，14b)使可動部分(10)能自由位移。

15.根據權利要求14所述的一種磁傳感單元，其特征在于，附著裝置(14a，14b)包含一孔口(15)或窄道。

16.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，磁性元件(1)和磁傳感器(2)配置在微型器件內部，使得機械放大作用提高了所述磁傳感單元的靈敏度。

17.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，可動部分(10)伸入微型器件的固定部分(12)中。

18.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，可動部分(10)和固定部分(12)配置在相同平面內，可動部分(10)中伸入固定部分(12)的長度比伸出固定部分(12)的長度更長。

19.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，該微型器件包括多個可動部分(10)，以及每個可動部分至少一個磁性元件(1)和至少一個磁傳感器(2)。

20.根據權利要求1所述的一種磁傳感單元，其特征在于，由一曲折形間隙將磁性元件(1)與磁傳感器(2)分開。

21.根據前述任一權利要求所述的一種磁傳感單元，其特征在于，其構成為微型機械器件的一部分，例如懸臂梁或存儲器件中的浮動的讀寫頭。