[發(fā)明專利]帶有集成光調(diào)制器的可調(diào)諧激光源

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 00812363.2
• 申請日: 2000-08-29
• 公開（公告）號: CN1372710A
• 公開（公告）日: 2002-10-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 托馬斯·高登·貝克·馬森;拉里·A·克爾德倫;格里高里·非什
• 申請（專利權(quán)）人: 加利福尼亞大學(xué)董事會
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 王永剛

1.一種可調(diào)諧激光源包括：

一個可寬調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器，包括一個在厚的、低帶隙的波導(dǎo)層頂部上的有源區(qū)，其中波導(dǎo)層與有源區(qū)都制作在一個p摻雜區(qū)與一個n摻雜區(qū)之間；與

一個集成在半導(dǎo)體激光器內(nèi)的電吸收調(diào)制器，其中電吸收調(diào)制器與半導(dǎo)體激光器共用波導(dǎo)層。

2.權(quán)利要求1的可調(diào)諧激光源，其中半導(dǎo)體激光器包括一個取樣光柵后反射鏡，一個相位控制部分，一個增益部分，與一個取樣光柵前反射鏡。

3.權(quán)利要求2的可調(diào)諧激光源，其中波導(dǎo)層是用于取樣光柵后反射鏡、相位控制部分、增益部分、取樣光柵前反射鏡與調(diào)制器的單個公共波導(dǎo)層。

4.權(quán)利要求1的可調(diào)諧激光源，其中設(shè)計(jì)波導(dǎo)層以提供激光器中高的指數(shù)調(diào)諧效率與調(diào)制器中好的反偏壓消光。

5.權(quán)利要求1的可調(diào)諧激光源，其中波導(dǎo)是一個包括提供激光器輸出的偏移多重量子阱(MQW)的埋置的異質(zhì)結(jié)構(gòu)波導(dǎo)。

6.權(quán)利要求1的可調(diào)諧激光源，其中波導(dǎo)是一個包括提供激光器輸出的偏移多重量子阱(MQW)的脊波導(dǎo)。

7.權(quán)利要求1的可調(diào)諧激光源，其中波導(dǎo)層包括一個阻塞激光器中的側(cè)電流泄漏與減小調(diào)制器的寄生結(jié)電容的阻塞結(jié)。

8.權(quán)利要求1的可調(diào)諧激光源，其中半導(dǎo)體激光器可通過適當(dāng)調(diào)節(jié)反射鏡的控制電流迅速地在一個寬波長范圍內(nèi)調(diào)諧。

9.一種用于制作帶有集成調(diào)制器的可調(diào)諧激光器的方法，包括：

(a)進(jìn)行一個第一生長步驟，其中在半導(dǎo)體晶片上生長一個緩沖層，一個波導(dǎo)層，一個阻止刻蝕層，一個有源區(qū)，與一個端接層；

(b)在除激光器的增益部分之外的各處構(gòu)圖與刻蝕端接層與有源區(qū)直至阻止刻蝕層；

(c)在激光器的一個或多個反射鏡部分內(nèi)構(gòu)圖與刻蝕一組或多組周期性取樣的光柵；

(d)進(jìn)行一個完成激光器的一個或多個接觸下面的端接層與接觸層的垂直結(jié)構(gòu)生長的第二生長步驟；

(e)相互隔離激光器的各部分，并隔離調(diào)制器與激光器之間的各部分；

(f)構(gòu)圖激光器的接觸，通過刻蝕除去其間的接觸層，然后金屬化該接觸；

(g)構(gòu)圖與刻蝕一個脊波導(dǎo)條下至有源區(qū)或波導(dǎo)層；與

(h)把從晶片中切出器件，然后在器件的至少一端上涂覆抗反射涂層。

10.權(quán)利要求9的方法，其中激光器包括一個取樣光柵后反射鏡，一個相位控制部分，一個增益部分，與一個取樣光柵前反射鏡。

11.權(quán)利要求9的方法，其中波導(dǎo)層是用于取樣光柵后反射鏡、相位控制部分、增益部分、取樣光柵前反射鏡與調(diào)制器的單個公共波導(dǎo)層。

12.權(quán)利要求9的方法，其中設(shè)計(jì)波導(dǎo)層以提供激光器中高的指數(shù)調(diào)諧效率與調(diào)制器中好的反偏壓消光。

13.權(quán)利要求9的方法，其中波導(dǎo)是一個包括提供激光器輸出的偏移多重量子阱(MQW)的埋置的異質(zhì)結(jié)構(gòu)波導(dǎo)。

14.權(quán)利要求9的方法，其中波導(dǎo)是一個包括提供激光器輸出的偏移多重量子阱(MQW)的脊波導(dǎo)。

15.權(quán)利要求9的方法，其中波導(dǎo)層包括一個或多個阻塞激光器中的側(cè)電流泄漏與減小調(diào)制器的寄生結(jié)電容的阻塞結(jié)。

16.權(quán)利要求9的方法，其中激光器可通過適當(dāng)調(diào)節(jié)它的反射鏡的控制電流迅速地在一個寬波長范圍內(nèi)調(diào)諧。

17.一種包括一個根據(jù)權(quán)利要求9的方法制作的帶有集成光調(diào)制器的可調(diào)諧激光器的制成品。