[發明專利]具有壓電層多層結構的壓電件及其制造方法

無效

• 申請號: 00809147.1
• 申請日: 2000-05-20
• 公開（公告）號: CN1357158A
• 公開（公告）日: 2002-07-03
• 發明（設計）人: F·貝金
• 申請（專利權）人: 羅伯特－博希股份公司
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083;H01L41/047
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 蘇娟,趙辛

1、一種具有壓電層(4)多層結構且在層與層之間布置了電極(6，7)的壓電件，它配備有借助外電極(8，9)的電極(6，7)交替側觸點，其中各壓電層(4)由一片在制造時可折疊的滲透膜(2)(陶瓷的)構成，它完全或部分地配備有導電電極(6，7)。

2、如權利要求1所述的壓電件，其特征在于，膜(2)可以通過溶劑彎曲，在兩側沿縱向直到端部預定區域(5)地使所述膜金屬化以便制成電極(6，7)，在折疊膜(2)的彎曲區內，分別從外面在金屬化層上安裝了用于形成交替側接觸的外電極(8，9)。

3、如權利要求2所述的壓電件，其特征在于，外電極(8，9)由一個導電篩或導電網構成。

4、如權利要求2所述的壓電件，其特征在于，外電極由波紋片電極(8，9)構成。

5、如前述權利要求之一所述的壓電件，其特征在于，壓電層(4)的多層結構分別在折疊層端部上配設了一個電絕緣陶瓷片(10，11)。

6、如前述權利要求之一所述的壓電件，其特征在于，壓電件(1)是一個壓電致動器件的組成部分，所述壓電致動器件可以考慮被用于操作一個機械部件如閥等。

7、一種制造如權利要求2-6之一所述的壓電件的方法，其特征在于，

-按照壓電件(1)的寬度切割壓電膜(2)并通過溶劑使其可以彎曲，

-在兩側一直到達預定端區(5)地使壓電膜(2)金屬化，

-以預定間距通過彎曲來折疊壓電膜(2)，

-折疊膜墊在疊置后進行燒結，

-借助焊接方式在彎曲區域內把外電極(8，9)安裝到金屬化層上。

8、如權利要求7所述的方法，其特征在于，在燒結前把一個電絕緣的壓電陶瓷頂板及一個底板(10，11)安裝到外壓電層(4)上。