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[發(fā)明專利]半導(dǎo)體裝置無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 00807221.3 申請日: 2000-11-20
公開(公告)號: CN1349663A 公開(公告)日: 2002-05-15
發(fā)明(設(shè)計)人: 橫川俊哉;高橋邦方;楠本修;北畠真;上野山雄 申請(專利權(quán))人: 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社
主分類號: H01L29/872 分類號: H01L29/872;H01L21/338;H01L29/812
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 代理人: 汪惠民
地址: 日本*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種半導(dǎo)體裝置,在襯底上設(shè)有能起到作為有源元件一部分功能的有源區(qū),其特征在于:

所述有源區(qū)設(shè)立在所述襯底上,由作為載流子渡越區(qū)域功能的至少一個第1半導(dǎo)體層和至少1個第2半導(dǎo)體層疊層生長構(gòu)成,第2半導(dǎo)體層含有比所述第1半導(dǎo)體高濃度的載流子用雜質(zhì)、膜厚比所述第1半導(dǎo)體層薄,薄到由于量子效應(yīng)載流子能夠滲入所述第1半導(dǎo)體層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于:所述第1及第2半導(dǎo)體層、分別設(shè)立多個,而且交互、疊層生長形成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于:所述第1半導(dǎo)體層中載流子用雜質(zhì)濃度小于1×1017atoms·cm-3,所述第2半導(dǎo)體層中載流子用雜質(zhì)濃度大于1017atoms·cm-3

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于:

所述襯底及有源區(qū)從SiC、GaN以及GaAs中選擇其中任一種材料構(gòu)成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于:

所述有源區(qū)中第1及第2半導(dǎo)體層,由相互共通的半導(dǎo)體材料構(gòu)成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于:

所述第2半導(dǎo)體層是SiC層,

所述第2半導(dǎo)體層的厚度大于一個單膜,小于20nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于:

所述第1半導(dǎo)體層是SiC層,

所述第1半導(dǎo)體層的厚度約大于10nm,約小于100nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于:

所述襯底是含有高濃度雜質(zhì)的半導(dǎo)體層,

所述有源區(qū)的最上部由所述第1半導(dǎo)體層構(gòu)成,

所述有源區(qū)最上部第1半導(dǎo)體層上面的一部分上具備肖特基接觸的肖特基電極,

所述襯底的一部分上具備歐姆接觸的歐姆電極。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于:

所述有源區(qū)第1半導(dǎo)體層及第2半導(dǎo)體層各第1側(cè)面上具備肖特基接觸的肖特基電極,與所述有源區(qū)第1半導(dǎo)體層及第2半導(dǎo)體層的所述各第1側(cè)面相隔一定間隔的第2側(cè)面上具備與它連接的電極。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于:

與所述有源區(qū)的第1半導(dǎo)體層及第2半導(dǎo)體層的所述各第1側(cè)面相隔一定間隔的區(qū)域上更具備導(dǎo)入高濃度雜質(zhì)形成的引出用摻雜層,

所述電極與所述引出用摻雜層成歐姆接觸。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于:

所述有源區(qū)的最上部由所述第1半導(dǎo)體層構(gòu)成,

所述有源區(qū)最上部的第1半導(dǎo)體層上面的一部分上具備肖特基接觸的肖特基柵電極,

所述有源區(qū)上還具備將所述肖特基柵電極挾在中間,與所述有源區(qū)連接的源極·漏極電極。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于:

所述有源區(qū)上還具備將所述肖特基柵電極挾在中間,含有高濃度雜質(zhì)的兩個第3半導(dǎo)體層,

所述源極·漏極電極與所述第3半導(dǎo)體層成歐姆接觸。

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