[發明專利]用于薄膜沉積的方法和吸氣裝置

有效

• 申請號: 00807050.4
• 申請日: 2000-04-11
• 公開（公告）號: CN1349565A
• 公開（公告）日: 2002-05-15
• 發明（設計）人: A·康特;F·馬嘉;M·莫拉加
• 申請（專利權）人: 工程吸氣公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;F04B37/04
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 王杰

1.用于提高基體上薄膜沉積過程的產率的方法，包括當處理室中的反應性氣體分壓之和低于約10^-3毫巴，而且，當未對實際的生產基體進行處理時，通過采用在生產步驟中使用的自動基體操縱設備和工序，將處于活化形式的吸氣裝置與處理室中的工作氣氛接觸。

2.根據權利要求1的方法，其中，當所述室內的總壓力高于10^-3毫巴，而且，所述氣氛主要包含惰性氣體時，所述吸氣劑暴露于處理室的氣氛中。

3.根據權利要求2的方法，包括下述步驟：

—開始對處理室進行抽氣；

—當壓力達到約10^-3毫巴或更低時，在處理室中放入預先活化的吸氣裝置，或者，另一種方法是，對預選送入處理室的吸氣裝置進行熱活化；

—采用與將作為處理氣氛使用的同樣的惰性氣體對處理室進行清洗；

—當處理室氣氛中的污染物量低于給定值時，開始沉積步驟。

4.根據權利要求1的方法，其中，在處理過程中，以固定的時間，重新在處理室中放入吸氣裝置并且使該裝置實施其吸氣功能。

5.根據權利要求4的方法，其中，在箱體中的所有基體均已處理之后，并且在開始對新箱體中的基體處理之前，重新在處理室中引入吸氣裝置。

6.根據權利要求1的方法，其包括下述步驟：

—將處理室打開后，在對其進行抽氣之前或者抽氣過程中(1；5；9)，將吸氣裝置放入處理室(2；6；8；)內，同時對操作方式進行控制，以使僅僅當處理室內壓力達到10^-3毫巴或更低時，吸氣裝置以活化形式存在于處理室內；

—持續對所述處理室抽氣，同時其中保留該活化的吸氣裝置，直至壓力達到10^-7毫巴或更低；并

—通過采用在制備步驟中使用的自動基體操縱設備和步驟，將所述吸氣裝置從所述處理室中取出(4；7；11)。

7.根據權利要求6的方法，包括下述步驟：

—開始對處理室進行抽氣(1)；

—當所述室內的壓力達到10^-3毫巴或更低時，通過采用在制備步驟中使用的自動基體操縱設備和步驟，引入非活化形式的吸氣裝置(2)；

—采用在制備步驟中用于加熱基體的設備和步驟，在所述室中對吸氣裝置進行活化(3)；

—當壓力達到10^-7毫巴或更低時，采用在制備步驟中用于移動基體的自動基體操縱設備和步驟，將吸氣裝置從處理室內取出(4)。

8.根據權利要求6的方法，包括下述步驟：

—開始對處理室進行抽氣(5)；

—當所述室內的壓力達到10^-3毫巴或更低時，采用在制備步驟中使用的用于移動基體的自動基體操縱設備和步驟，將在所述系統的一個不同室內預先活化的吸氣裝置送入所述室內(6)；

—當所述室內的壓力達到10^-7毫巴或更低時，采用在制備步驟期間用于移動基體的自動基體操縱設備和步驟，將吸氣裝置從處理室內移出(7)。

9.根據權利要求6的方法，其包括如下步驟：

—將非活化形式的吸氣裝置加入處理室(8)；

—開始對所述室進行抽氣(9)；

—當所述室內的壓力達到10^-3毫巴或更低時，采用在制備步驟期間用于加熱基體的裝置和步驟，對吸氣裝置進行熱活化(10)；

—當所述室內的壓力達到10^-7毫巴或更低時，采用在制備步驟期間用于移動基體的自動基體操縱設備和步驟，將吸氣裝置從處理室內取出(11)。

10.根據權利要求6的方法，其中，當壓力達到10^-7毫巴或更低時，只在進行了為薄膜沉積作準備的各步驟(12)之后，才將吸氣裝置從所述室內取出(13)。

11.根據權利要求10的方法，其中，所述的薄膜沉積方法是PVD型的，而且，所述的準備步驟包括清洗靶材的步驟。

12.用于實施權利要求1的方法的吸氣裝置(50；60；70)，其具有與在應用所述方法的沉積過程中使用的基體基本相同的尺寸。