[發(fā)明專利]制備難溶薄涂層的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 00805960.8
• 申請日: 2000-04-06
• 公開（公告）號: CN1346412A
• 公開（公告）日: 2002-04-24
• 發(fā)明（設計）人: 克里斯蒂安－赫伯特·菲舍爾;漢斯－于爾根·穆福勒;瑪爾塔·克里斯蒂娜·勒克斯－施泰納
• 申請（專利權(quán)）人: 哈恩－邁特納研究所柏林有限公司
• 主分類號: C23C26/00
• 分類號: C23C26/00;H01L21/368;H01L31/18
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 過曉東

1、一種在任意形態(tài)的底材上制備難溶薄涂層的方法，它包括下列步驟，這些步驟可根據(jù)所需涂層的厚度循環(huán)執(zhí)行，以制備陶瓷涂層或氧化物涂層(CL/OL)：

(I)將至少一種適當?shù)钠鹗嘉锪?P)涂覆到底材表面(S)上，形成起始物料層；

(II)在惰性氣流(GS)中或通過蒸發(fā)使所形成的起始物料涂層(PL)干燥；

(III)在干燥后的起始物料涂層(PLD)中通入潮濕的反應氣體(RG)，使其轉(zhuǎn)化成相應的氫氧化物涂層或絡合物涂層(HL)；

(IV)熱處理所形成的氫氧化物涂層或絡合物涂層(HL)，使其形成最終涂層(CL/OL)；接著

如果有未轉(zhuǎn)化的起始物料成分或不需要的副產(chǎn)物

(V)進行洗滌分離，然后干燥。

2、一種在任意形態(tài)的底材上制備難溶薄涂層的方法，它包括下列步驟，這些步驟可根據(jù)所需涂層的厚度循環(huán)執(zhí)行，以制備金屬涂層：

(I)將至少一種適當?shù)钠鹗嘉锪?P)涂覆到底材表面(S)上，形成起始物料層；

(II)在惰性氣流(GS)中或通過蒸發(fā)使所形成的起始物料涂層(PL)干燥；

(III)在干燥后的起始物料涂層(PLD)中通入潮濕的、還原性的反應氣體(RG)，使其轉(zhuǎn)化成金屬涂層；

(IV)熱處理所形成的金屬涂層，分離未轉(zhuǎn)化的起始物料成分或不需要的副產(chǎn)物。

3、一種在任意形態(tài)的底材上制備難溶薄涂層的方法，它包括下列步驟，這些步驟可根據(jù)所需涂層的厚度循環(huán)執(zhí)行，以制備硫?qū)倩锿繉?CHL)：

(I)將至少一種適當?shù)钠鹗嘉锪?P)涂覆到底材表面(S)上，形成起始物料層；

(II)在惰性氣流(GS)中或通過蒸發(fā)使所形成的起始物料涂層(PL)干燥；

(III)在干燥后的起始物料涂層(PLD)中通入潮濕的反應氣體(RG)，使其轉(zhuǎn)化成相應的氫氧化物涂層或絡合物涂層(HL)；

(IIIa)在氫氧化物涂層或絡合物涂層(HL)中通入另外的、含硫?qū)倩瘹浠衔锏姆磻獨怏w(CRG)，形成硫?qū)倩锏淖罱K涂層(CHL)：

(IV)熱處理所形成的氫氧化物涂層或絡合物涂層(HL)和/或硫?qū)倩锏淖罱K涂層(CHL)。

4、如權(quán)利要求1至3之一所述的方法，其特征在于，所述的熱處理(IV)或者通過在各涂層形成之后進行單獨加熱而完成，或者通過提高其形成過程中的過程溫度(TP)來完成。

5、如權(quán)利要求1至4之一所述的方法，其特征在于，所述的至少一種的起始物料(P)優(yōu)選與易揮發(fā)的溶劑形成溶液，所述溶液在底材(S)上的涂覆是通過浸漬法(LB)或噴霧法完成。

6、如權(quán)利要求1至5之一所述的方法，其特征在于，所述的起始物料(P)是鹽。

7、如權(quán)利要求1至6之一所述的方法，其特征在于，所述潮濕的反應氣體(RG)優(yōu)選是堿性的反應性氣體或氣態(tài)水。

8、如權(quán)利要求1至7之一所述的方法，其特征在于，所述起始物料(P)是不同化合物的混合物。

9、如權(quán)利要求1至8之一所述的方法，其特征在于，在各自的循環(huán)步驟中使用不同的起始物料(P)，特別是按重復的順序進行。