[發明專利]部件

有效

• 申請號: 00805918.7
• 申請日: 2000-03-01
• 公開（公告）號: CN1346539A
• 公開（公告）日: 2002-04-24
• 發明（設計）人: R·埃格納;J·埃拉
• 申請（專利權）人: 因芬尼昂技術股份公司;諾基亞移動電話有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 馬鐵良,梁永

1、部件

-具有壓電層(16)，

-具有第一電極對，它具有下面第一電極(151)和上面第—電極(171)，并且具有第二電極對，它具有下面第二電極(152)和上面第二電極(172)，

-其中，上面第一電極(171)和上面第二電極(172)都設置在壓電層(16)的第一主面上，并且下面第一電極(151)和下面第二電極(152)設置在壓電層(16)的位于第一主面對面的第二主面上，

-其中，上面第一電極(171)、上面第二電極(172)、下面第一電極(151)以及下面第二電極(152)均是結構化的，其中上面第一電極(171)和上面第二電極(172)的結構以及下面第一電極(151)和下面第二電極(152)的結構分別相互嚙合在一起。

2、按照權利要求1所述的部件，

其中，這些結構在一維上具有一方面比上面第一電極(171)和上面第二電極(172)間隔的2倍還小的尺寸，和另一方面具有比下面第一電極(151)和下面第二電極(152)間隔的2倍還小的尺寸。

3、按照權利要求1或2所述的部件，

其中，在一維上，這些結構的尺寸至少一方面比上面第一電極(171)和上面第二電極(172)間隔的2倍的1/10還小，以及另一方面比下面第一電極(151)和下面第二電極(152)間隔的2倍的1/10還小。

4、按照權利要求1至3之一所述的部件，

-其中，下面第一電極(23)、下面第二電極(24)、上面第一電極(21)和上面第二電極(22)均有一連接片(212、222、232、242)，分結構(211、221、231、241)與連接片(212、222、232、242)鄰界，并與這些連接片連接，

-其中，上面第一電極(21)和上面第二電極(22)如此設置，以致上面第一電極(21)的分結構和上面第二電極(22)的分結構交替排列。

-其中，下面第一電極(23)和下面第二電極(24)如此設置，以致上面第一電極(23)的分結構(231)和上面第二電極(24)的分結構(241)交替排列。

5、按照權利要求4所述的部件，

其中，分結構(211、221)構成指形。

6、按照權利要求4所述的部件，

其中，分結構(412、422)至少部分地進行分枝。

7、按照權利要求4至6之一所述的部件，

其中，分結構(311、321)之間的尺寸和/或間隔均圍繞一平均值變化。

8、按照權利要求4至7之一所述的部件，

-其中，上面第一電極(151)的連接片(1512)如此對準，以致其投射到第二主面上的投影與下面第一電極(171)的連接片(1712)交叉，

-其中，上面第二電極(152)的連接片(1522)如此對準，以致其投射到第二主面上的投影與下面第二電極(172)的連接片(172)交叉。

9、按照權利要求1至8之一所述的部件，

-其中，壓電層(16)至少具有材料AIN、ZnO、PbZrTiO_x(PZT)的一種，

-其中，壓電層(16)的厚度在1μm和3μm之間，

-其中，下面第一電極(151)、下面第二電極(152)、上面第一電極(171)和上面第二電極(172)，均有在1μm和3μm之間的最小的尺寸。