[發(fā)明專利]石英玻璃坩堝及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 00804068.0
• 申請日: 2000-12-14
• 公開（公告）號: CN1341080A
• 公開（公告）日: 2002-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: W·維德克;J·萊斯特
• 申請（專利權(quán)）人: 赫羅伊斯石英玻璃股份有限兩合公司
• 主分類號: C03B19/09
• 分類號: C03B19/09;C30B15/10;C30B35/00;C03C3/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 盧新華,譚明勝

1.一種石英玻璃坩堝，它具有圍繞旋轉(zhuǎn)軸對稱的不透明石英玻璃坩堝體，該坩堝體具有不透明石英玻璃的外區(qū)(3)，該外區(qū)徑向向內(nèi)向密度至少為2.15g/cm³的透明石英玻璃的內(nèi)區(qū)(4)過渡，其特征在于，坩堝體(1)由比表面(按BET)為0.5m²/g-40m²/g的、搗實(shí)密度至少為0.8g/cm³的合成SiO₂-顆粒物制成，該顆粒物由SiO₂-基粒的至少部分多孔的聚集體構(gòu)成。

2.權(quán)利要求1的石英玻璃坩堝，其特征在于，坩堝體(1)由比表面(按BET)為2m²/g-20m²/g的、搗實(shí)密度為1.0g/cm³-1.4g/cm³的合成SiO₂-顆粒物制成。

3.權(quán)利要求1或2的石英玻璃坩堝，其特征在于，在內(nèi)區(qū)(4)范圍內(nèi)的石英玻璃的亞穩(wěn)態(tài)OH-含量最大為20wppm。

4.上述權(quán)利要求之一的石英玻璃坩堝，其特征在于，石英玻璃的牢固結(jié)合的羥基含量最大為40wppm。

5.上述權(quán)利要求之一的石英玻璃坩堝，其特征在于，不透明外區(qū)(3)和透明內(nèi)區(qū)(4)由同一種合成SiO₂-顆粒物制成。

6.權(quán)利要求1-5之一的石英玻璃坩堝，其特征在于，不透明外區(qū)(3)由第一種密度較小的SiO₂-顆粒物制成，而內(nèi)區(qū)(4)由第二種密度較高的SiO₂-顆粒物制成。

7.上述權(quán)利要求之一的石英玻璃坩堝，其特征在于，內(nèi)區(qū)(4)由SiO₂-顆粒物制成，該顆粒物至少部分由合成方英石組成。

8.上述權(quán)利要求之一的石英玻璃坩堝，其特征在于，內(nèi)區(qū)(4)從內(nèi)表面向外區(qū)(3)的方向延伸達(dá)2mm。

9.上述權(quán)利要求之一的石英玻璃坩堝，其特征在于，內(nèi)區(qū)(4)配置有由透明石英玻璃組成的內(nèi)層(2)。

10.一種制造石英玻璃坩堝的方法，該方法包括制備可圍繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的并具有內(nèi)壁的模具；將SiO₂-顆粒裝入模具中，在模內(nèi)壁上形成顆粒層；在模具旋轉(zhuǎn)下從內(nèi)向外加熱顆粒層，形成有不透明外區(qū)的玻璃化坩堝體，其特征在于，作為SiO₂-顆粒，采用由合成制造的SiO₂-基粒的至少部分多孔的聚集體形成的SiO₂-顆粒物(21；31)，該顆粒物的比表面(按BET)為0.5m²/g-40m²/g，搗實(shí)密度至少為0.8g/cm³，而且其加熱如此進(jìn)行，即在形成由透明石英玻璃組成的內(nèi)區(qū)時，玻璃化鋒面由內(nèi)向外移動。

11.權(quán)利要求10的方法，其特征在于，采用的比表面(按BET)為2m²/g-20m²/g之的、搗實(shí)密度為1.0g/cm³-1.4g/cm³的SiO₂-顆粒物。

12.權(quán)利要求10或11的方法，其特征在于，SiO₂-顆粒物(21；31)以SiO₂-基粒的至少部分多孔的聚集體的形式使用，該基粒的平均粒度為0.5μm-5μm。

13.權(quán)利要求10-12之一的方法，其特征在于，SiO₂-顆粒物(21；31)以SiO₂-基粒的至少部分多孔的聚集體的形式使用，該基粒的平均粒度小于0.2μm。

14.權(quán)利要求10-13之一的方法，其特征在于，采用的顆粒物(21；31)由不均勻密度分布的SiO₂-顆粒組成，其中較低密度的內(nèi)部區(qū)域(22；32)至少部分被較高密度的外部區(qū)域包圍。

15.權(quán)利要求10-14之一的方法，其特征在于，SiO₂-顆粒物(21；31)的比表面的搗實(shí)密度通過熱處理調(diào)節(jié)，該熱處理包括在800℃-1450℃的燒結(jié)。