[實用新型]一種微構件摩擦力測試儀

無效

• 申請號: 00264765.6
• 申請日: 2000-12-14
• 公開（公告）號: CN2453429Y
• 公開（公告）日: 2001-10-10
• 發明（設計）人: 吳一輝;鞠揮;賈宏光;郭占社;黎海文
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01N3/50
• 分類號: G01N3/50
• 代理公司: 中國科學院長春專利事務所
• 代理人: 梁愛榮

1、一種微構件摩擦力測試儀，它包括減振工作臺1、光學顯微鏡及CCD系統3、監視器4、控制系統5，其特征在于：還包括垂直摩擦力測試主體2：既由逼近系統6、X和Y方向粗調機構7、X和Y方向精密掃描機構8、樣片承載機構9、光電接收器調節機構10、光電接收器11、二級反射鏡12、一級反射鏡13、激光器14、入射光調整機構15、懸臂梁支架16，微懸臂17、微探針18組成，垂直逼近系統6中固定一個步進電機，X和Y方向粗調機構7置于垂直逼近系統6的上表面，X和Y方向粗調機構7的上面由四個螺孔通過螺栓與X和Y方向精密掃描機構8聯接在一起，樣片承載片9與X和Y方向精密掃描機構8本體磁性聯接在一起，微懸臂17的本體上制備有微探針18，微懸臂17與懸臂梁支架16通過粘性材料粘貼在一起，光電接收器11、二級反射鏡12、一級反射鏡13、激光器14分別固定在殼體19上，反射鏡13置于保證激光器14發出的激光光束射到微懸臂17一端部的上表面上，反射鏡12置于保證微懸臂17反射的光束進入探測器11的接收面上，光電接收器調節機構10、光電接收器11、激光器14與入射光調整機構15分別通過螺栓聯接在一起。