[實用新型]一種激光測量裝置無效
| 申請號: | 00259742.X | 申請日: | 2000-11-06 |
| 公開(公告)號: | CN2444223Y | 公開(公告)日: | 2001-08-22 |
| 發明(設計)人: | 張杰;李玉同;趙理曾 | 申請(專利權)人: | 中國科學院物理研究所 |
| 主分類號: | G01M11/02 | 分類號: | G01M11/02 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 1000*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 激光 測量 裝置 | ||
1.一種激光測量裝置,其特征在于:由激光器、擴束鏡、轉向反射鏡組、光闌、真空靶室、聚焦透鏡、固體靶、靶定位系統、分束鏡、衰減片、物鏡、濾光片、CCD照相機及計算機構成;
由激光器輸出光束經擴束器擴束,經轉向反射鏡組轉向、經光闌定位光束方向,光束通過真空窗口進入真空靶室,聚焦光學元件將光束聚焦到固體靶上,靶定位系統調整靶與聚焦透鏡間的距離,從焦點發出的散射光通過真空窗口、分束鏡、衰減片到達物鏡,它將焦點放大成象在CCD照相機上,并在顯示屏上實時顯示焦斑形狀和光強分布,計算機對該圖象進行數據采集和處理,定量給出焦斑尺寸和光強分布。
2.按權利要求1所述的激光測量裝置,其特征在于:還可將固體靶換為液體靶或氣體靶。
3.按權利要求1所述的激光測量裝置,其特征在于:還可以省去擴束器。
4.按權利要求1所述的激光測量裝置,其特征在于:還可以省去轉向反射鏡組。
5.按權利要求1所述的激光測量裝置,其特征在于:還可以省去光闌。
6.按權利要求1所述的激光測量裝置,其特征在于:還可以在非真空下進行。
7.按權利要求1所述的激光測量裝置,其特征在于:所述的聚焦光學元件可以是一到多塊透鏡、球面或非球面反射聚焦鏡。
8.按權利要求1所述的激光測量裝置,其特征在于:還可以用控制聚焦光學元件的定位系統代替靶定位系統。
9.按權利要求1所述的激光測量裝置,其特征在于:還可以省去分束鏡。
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