[實用新型]帶準直模塊的線列陣半導體激光器

無效

• 申請號: 00259518.4
• 申請日: 2000-12-08
• 公開（公告）號: CN2454954Y
• 公開（公告）日: 2001-10-17
• 發明（設計）人: 胡衍芝
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: H01S5/00
• 分類號: H01S5/00
• 代理公司: 上海華東專利事務所
• 代理人: 李蘭英

1．一種帶準直模塊的線列陣半導體激光器，包括：

<1>管殼(1)，管殼(1)的底面是邊緣四周均勻分布有四只螺絲沉孔(2)的底座(101)，管殼(1)的頂上是帶有中心窗口(601)的蓋板(6)，蓋板(6)與底座(101)之間有管壁(102)，蓋板(6)邊緣上有凸肩(602)置于管壁(102)頂端口上的端口凹槽(5)內，在凸肩(602)與端口凹槽(5)的接合處置有密封膠，在管殼(1)外的底座(101)上有通到管殼(1)內的電極引腳(16)；

<2>在管殼(1)內的底座(101)上置有半導體致冷器(15)，在半導體致冷器(15)上置有過渡熱沉(8)，在過渡熱沉(8)上置有激光二極管線列陣(11)的熱沉(13)，激光二極管線列陣(11)的發光面對準蓋板(6)上帶有窗片(10)的窗口(601)，激光二極管線列陣(11)和蓋板(6)上的窗口(601)以及窗口(601)上的窗片(10)都與管殼(1)是同一中心軸線(00)；

其特征在于：

<3>置于激光二極管線列陣(11)與窗片(10)之間的窗口(601)內有包含微柱面透鏡(902)和微柱面透鏡列陣(901)的準直模塊(9)，準直模塊(9)內的微柱面透鏡(902)對著激光二極管線列陣(11)的發光面，準直模塊(9)的接收面(905)與蓋板(6)的內表面齊平；準直模塊(9)的中心軸線與窗口(601)與激光二極管線列陣(11)的中心軸線(00)重合，準直模塊(9)與激光二極管線列陣(11)和窗片(10)同光軸；

<4>在管殼(1)內管壁(102)與半導體致冷器(15)和過渡熱沉(8)之間有左右對稱的固定在底座(101)上的兩個調節固定塊(4)，調節固定塊(4)上有一端對著過渡熱沉(8)，另一端與管壁(102)上的螺孔相通的調節螺絲孔(3)；

<5>在管殼(1)內管壁(102)與半導體致冷器15和過渡熱沉(8)之間有前后對稱的固定在底座(101)上的兩個平移槽塊(17)，平移槽塊(17)對著過渡熱沉(8)的部位有槽塊凹槽(1701)與過渡熱沉(8)上的熱沉凹槽(801)相配構成一槽道，在槽道內置有導軌(20)；

<6>在半導體致冷器(15)與過渡熱沉(8)之間有壓電元件(14)；

<7>上述的兩個調節固定塊(4)和兩個平移槽塊(17)與過渡熱沉(8)與半導體致冷器(15)之間均有電絕緣片(7)。

2．根據權利要求1所述的帶準直模塊的線列陣半導體激光器，其特征在于所說的準直模塊(9)內的微柱面透鏡(902)和微柱面透鏡列陣(901)沿著長度方向的兩端分別有第一固定塊(904)和第二固定塊(908)將兩者固定，兩者之間有粘合間隙(907)，在粘合間隙(907)里放有光學粘合膠，微柱面透鏡(902)的兩透光面和微柱面透鏡列陣(901)的兩透光面均鍍有對激光二極管線列陣(11)的發射光束透過率大于或等于99.5％的增透膜(906)，微柱面透鏡(902)的入光面為準直模塊(9)的接收面(905)、微柱面透鏡列陣(901)的出光面為準直模塊(9)的輸出面(903)。

3．根據權利要求1或2所述的帶準直模塊的線列陣半導體激光器，其特征在于所說的準直模塊(9)的長度L_m大于激光二極管線列陣的長度L_c，即L_m＞L_c，準直模塊(9)的寬度D_m大于激光二極管線列陣的寬度D_c，即D_m＞D_c。

4．根據權利要求1或2所述的帶準直模塊的線列陣半導體激光器，其特征在于所說的準直模塊(9)內的微柱面透鏡(902)的曲率半徑R＜2mm，微柱面透鏡(902)的焦距f＜1.5mm。

5．根據權利要求1或2所述的帶準直模塊的線列陣半導體激光器，其特征在于所說的準直模塊(9)中微柱面透鏡(902)與微柱面透鏡列陣(901)之間的粘合間隙(907)的間距為50μm至260μm。