[實用新型]一種脈沖微波強化高壓低溫等離子體化學反應裝置

無效

• 申請號: 00252860.6
• 申請日: 2000-11-15
• 公開（公告）號: CN2458622Y
• 公開（公告）日: 2001-11-07
• 發明（設計）人: 張勁松;楊永進;張軍旗;劉強;沈學遜
• 申請（專利權）人: 中國科學院金屬研究所
• 主分類號: G01N22/00
• 分類號: G01N22/00
• 代理公司: 中國科學院沈陽專利事務所
• 代理人: 張晨

1、一種脈沖微波強化高壓低溫等離子體化學反應裝置，其特征在于：該裝置由波導-同軸轉換(1)、同軸腔(2)、帶重入柱的TM₀₁₀諧振腔(3)連接構成；同軸腔(2)的內導體(21)深入到TM₀₁₀諧振腔(3)中，并通過高壓引入結構(22)引入等離子體激發電壓。

2、按權利要求1所述脈沖微波強化高壓低溫等離子體化學反應裝置，其特征在于：所述高壓引入結構(22)為電感與電容復合結構，由導電外殼(224)、兩個電容片(221)(223)及電感線圈(222)構成，同軸線內導體(21)的一端首先與一個電容片(221)相連，該電容片(221)與同軸線的外導體構成電容Ⅰ，導電外殼(224)與電容片(223)之間構成電容Ⅱ，電容片(221)與電容片(223)通過電感線圈(222)相連，由于同軸線的外導體與高壓引入結構的導電外殼(224)相接，從而在電路上形成電容Ⅰ與電容Ⅱ串聯，再與電感并聯的結構。

3、按權利要求2所述脈沖微波強化高壓低溫等離子體化學反應裝置，其特征在于：所述電容介質材料選用高純氧化鋁時，電容間隙為0.2-2毫米，電感線圈的匝數為5-20匝。

4、按權利要求2所述脈沖微波強化高壓低溫等離子體化學反應裝置，其特征在于：所述電容介質為四氟乙烯時，間隙為0.2-1.0毫米，電感線圈的匝數為10-30匝。

5、按權利要求2所述脈沖微波強化高壓低溫等離子體化學反應裝置，其特征在于：所述電容介質為氧化鎂時，間隙為1.0-3.0毫米，電感線圈的匝數為5-30匝。

6、按權利要求2所述脈沖微波強化高壓低溫等離子體化學反應裝置，其特征在于：所述電容介質為尼龍時，間隙為1.5-4.0毫米，電感線圈的匝數為20-60匝。