[實(shí)用新型]晶片測(cè)試裝置無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 00245839.X | 申請(qǐng)日: | 2000-08-15 |
| 公開(公告)號(hào): | CN2444311Y | 公開(公告)日: | 2001-08-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳文杰 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 陳文杰 |
| 主分類號(hào): | H01L21/66 | 分類號(hào): | H01L21/66 |
| 代理公司: | 天津三元專利事務(wù)所 | 代理人: | 周永銓 |
| 地址: | 中國*** | 國省代碼: | 臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 晶片 測(cè)試 裝置 | ||
1、一種晶片測(cè)試裝置,設(shè)有驅(qū)動(dòng)元件及控制器,其特征在于其主要包括:
一底座,其上設(shè)有一固定座,其上架設(shè)有一導(dǎo)引構(gòu)件;
一本體,架設(shè)于該導(dǎo)引構(gòu)件,并呈依導(dǎo)引方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu),一升降座套接于該本體,形成可上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu),一驅(qū)動(dòng)元件固設(shè)于該本體,該驅(qū)動(dòng)元件每啟動(dòng)一次移動(dòng)一單位距離,且該驅(qū)動(dòng)元件校正驅(qū)動(dòng)該升降座上移動(dòng)設(shè)定距離;
一置物構(gòu)件,固設(shè)于該升降座,其上設(shè)有一定位槽,該定位槽內(nèi)置放一晶片;
一檢測(cè)構(gòu)件,設(shè)置位于置物構(gòu)件的上側(cè),且架設(shè)于該固定座上,該檢測(cè)構(gòu)件架設(shè)有一基板,該基板設(shè)有一測(cè)試座;
上述結(jié)構(gòu)相組合構(gòu)成晶片測(cè)試裝置,其本體在置物構(gòu)件置放晶片,移動(dòng)到測(cè)試區(qū)定位,逐次驅(qū)動(dòng)該升降座逐次上升,該晶片接觸基板的測(cè)試座,該升降座上升高度經(jīng)一控制器儲(chǔ)存,以作為下次啟動(dòng)該升降座上升高度的依據(jù)。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片測(cè)試裝置,其特征在于其中所述的本體端側(cè)設(shè)有預(yù)定數(shù)目的導(dǎo)桿,該導(dǎo)桿靠合升降座的導(dǎo)槽,該升降座形成依導(dǎo)桿導(dǎo)正上下移動(dòng)、并不偏移的結(jié)構(gòu)。
3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶片測(cè)試裝置,其特征在于其中所述的本體上設(shè)有一可阻擋升降座上移停止、避免置物構(gòu)件碰擊基板的限位元件。
4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片測(cè)試裝置,其特征在于其中所述的固定座上設(shè)有一偵測(cè)本體移到測(cè)試區(qū)正確定位的偵測(cè)元件,該升降座上升,晶片接觸基板的測(cè)試座。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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