[實用新型]輝光放電表面處理中等離子體診斷裝置用的探針無效
| 申請號： | 00243253.6 | 申請日： | 2000-07-07 |
| 公開（公告）號： | CN2431561Y | 公開（公告）日： | 2001-05-23 |
| 發明（設計）人： | 李成明;張勇;曹爾妍;薛明倫 | 申請（專利權）人： | 中國科學院力學研究所 |
| 主分類號： | G01N27/00 | 分類號： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 上海華東專利事務所 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 100080 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 輝光 放電 表面 處理 等離子體 診斷 裝置 探針 | ||
【權利要求書】：
1、一種輝光放電表面處理中等離子體診斷裝置用的探針，包括一絕緣陶瓷管、金屬絲制成探針絲，其特征在于：一屏蔽作用的不銹鋼套管套在陶瓷管外，不銹鋼套管的前端密封焊合，并留有一小孔；彈簧支撐在不銹鋼套管和陶瓷管之間，陶瓷管內穿進探針絲，探針絲的末端與導線連接，探針絲頭穿出絕緣陶瓷管和不銹鋼套管前端的小孔，探針頭露在小孔外面。
2、按權利要求1所述的一種輝光放電表面處理中等離子體診斷裝置用的探針，其特征在于：由高熔點的W、Mo制成的探針絲與絕緣陶瓷管之間距離保持在1mm，間隙的深度在5mm-10mm，
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