[實用新型]脈沖激光沉積大面積薄膜的裝置

無效

• 申請號: 00229201.7
• 申請日: 2000-02-01
• 公開（公告）號: CN2415041Y
• 公開（公告）日: 2001-01-17
• 發明（設計）人: 王又青
• 申請（專利權）人: 華中理工大學
• 主分類號: C23C16/48
• 分類號: C23C16/48
• 代理公司: 華中理工大學專利事務所
• 代理人: 方放

1、一種脈沖激光沉積大面積薄膜的裝置，由電機(1)、主轉動塊(2)、軸承(11)、吊桿(12)、透鏡(13)、激光束(14)、靶材(16)和基片(17)組成，其特征在于：電機軸(3)楔入主轉動塊(2)上的孔內，電機軸(3)帶動主轉動塊(2)旋轉，該裝置還有一個輔轉動塊(7)，輔轉動塊(7)隨主轉動塊(2)旋轉的同時進行自轉，在輔轉動塊(7)上開有偏心孔，該孔中安裝有軸承(11)，吊桿(12)的吊桿軸(10)夾持在軸承(11)中，透鏡(13)掛在吊桿(12)的底部，電機通過主轉動塊(2)和輔轉動塊(7)帶動透鏡在一個平面內作類似于月亮繞太陽運行軌跡的運行，激光束通過透鏡(13)和真空鍍膜室(18)的入光窗口射入真空鍍膜室(18)室內，并聚焦在預置于真空鍍膜室(18)內的靶材(16)上，位于真空鍍膜室(18)內的基片(17)與靶材(16)平行放置。

2、根據權利要求1所述的脈沖激光沉積大面積薄膜的裝置，其特征在于：在距主轉動塊(2)的上述孔與與塊的邊緣之間的位置上開有另一孔，該孔中安裝有軸承(6)，固定于輔轉動塊(7)上的輔轉動塊軸(8)穿過軸承(6)，電機(1)上有一固定盤(23)固定于電機軸(3)的同側，且與電機軸(3)同心，輔轉動塊軸(8)通過傳送帶(5)與固定盤(23)聯接起來。

3、根據權利要求2所述的脈沖激光沉積大面積薄膜的裝置，其特征在于：所述主轉動塊(2)為盤狀。

4、根據權利要求2或3所述的脈沖激光沉積大面積薄膜的裝置，其特征在于：所述輔轉動塊(7)為盤狀。

5、根據權利要求2所述的脈沖激光沉積大面積薄膜的裝置，其特征在于：所述主轉動塊(2)為長方體。

6、根據權利要求2或5所述的脈沖激光沉積大面積薄膜的裝置，其特征在于：所述輔轉動塊(7)為長方體。

7、根據權利要求2所述的脈沖激光沉積大面積薄膜的裝置，其特征在于：所述主轉動塊(2)為扇形。

8、根據權利要求2或7所述的脈沖激光沉積大面積薄膜的裝置，其特征在于：所述輔轉動塊(2)為扇形。

9、根據權利要求1所述的脈沖激光沉積大面積薄膜的裝置，其特征在于：所述主轉動塊(2)為齒輪狀，該裝置有一個開有中心孔的底盤(19)，電機軸(3)穿過底盤(19)的中心孔楔入主轉動塊(2)的中心孔，在底盤上安裝有一個檔板環(22)，輔轉動塊(7)的形狀為兩個齒輪疊加，構成“T”型，輔轉動塊(7)內、外齒輪分別與主轉動塊(2)和底盤(19)構成齒輪咬合連接。