[實用新型]應用于標準機械介面雙導螺桿倍行程與螺紋差動取放機構

無效

• 申請號: 00205407.8
• 申請日: 2000-02-15
• 公開（公告）號: CN2412709Y
• 公開（公告）日: 2001-01-03
• 發明（設計）人: 林武郎;陳貴榮;吳宗明;陳建成
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: B25J3/00
• 分類號: B25J3/00;F16H25/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 湯保平

本實用新型是關于一種應用于標準機械介面的雙導螺桿倍行程與螺紋差動取放機構，特別是關于一種籍由導螺桿與螺帽間的傳動與螺紋差動相互連動原理，而達到可倍行程與差動運動效果的應用于標準機械介面雙導螺桿倍行程與螺紋差動取放機構。

有鑒于半導體廠中，廠房使用空間的限制、無塵室使用維護費用的高昂及對潔凈度的嚴格要求，于是發展出標準機械界面(SMIF)的概念與機臺設計，用來區隔機臺與操作人員使用的不同潔凈度無塵室等級的設計，以減少粉塵污染的機會，并提高無塵室的潔凈度的等級及降低維護成本，提升集成電路(IC)晶圓生產良率，其中，標準機械界面手臂(SMIF?ARM)的設計更形重要。當SMIF?ARK結合在制程設備機臺時，傳送臂須前進到制程機臺中去抓取晶舟(cassette)，當ARM收回時更需能移至SMIF機臺的中心點，因此夾爪需移動約兩倍螺桿進給長度的距離。本實用新型在設計出能達到此行程，且其所占機臺尺寸能更優于現行產品設計者，同時能達到潔凈(classl)程度的潔凈需求。另外IC晶圓制程環境潔凈程度要求愈來愈高。在ARM的夾爪取放機引起震動，再則運動連桿數目設計得愈多，愈會造成粉塵微粒的產生，及機構抖動。習用的SMIF?ARM設計，有的是利用肘節搖臂機構，利用Z軸上下、夾爪運動的方式來完成晶舟取放動作(如ASIST公司設計)；有的是于機臺內側邊裝置一只無桿氣壓缸機構，做為夾爪的前后往復進給，達到取放晶舟的目的(INFAB公司設計)；或是于機臺上方設置一組機械手臂，利用手臂伸長與縮回的機構動作，達到取放晶舟的動作(FORTREND公司設計)，另一種于機臺內側邊裝置單一支導螺桿，并配合時規皮帶輪達到夾爪倍行程，以取放晶舟(工研院機械所)。但上述機構不是因機構太過復雜，而造成機械運作時產生相互摩擦機率增加，提高微粒粉塵的生成，就是造價昂貴，維護成本高。因此，如上所述，要如何防止粉塵微粒的產生及將之有效率隔離及如何減化機構設計亦是本實用新型的主要重點。

本案實用新型人鑒于上述習用應用于標準機械介面的雙導螺桿倍行程與螺紋差動取放機構所衍生的各項缺點，乃亟思加以改良創新，并經多年苦心孤詣潛心研究后，終于成功研發完成本件應用于標準機械介面雙導螺桿倍行程與螺紋差動取放機構。

本實用新型的目的即在于提供一種應用于標準機械介面雙導螺桿倍行程與螺紋差動取放機構，該雙導螺桿倍行程機構由于采用雙導螺桿連動機構便可達到倍行程目的，因可大幅減少機臺縱深長約1／2，故對于機臺所占的空間亦可大幅減少。與市場產品的比較，機臺尺寸變小，機構剛性更強，行程更長，ARM所占的空間為最小。

本實用新型的次一目的是在于提供一種應用于標準機械介面雙導螺桿倍行程與螺紋差動取放機構，該雙導螺桿倍行程機構在機臺設置時，可采外罩的方式密封SMIF?ARM傳動機構，可大幅減少粉塵微粒(particle)的產生及飛散。

本實用新型的另一目的是在于提供一種應用于標準機械介面雙導螺桿倍行程與螺紋差動取放機構，該雙導螺桿倍行程機構由于在設計上采用線性滑軌及導螺桿間的最佳化設計，利用其相互的支撐，固定及滑移，可大幅增加運動機構的剛性，并可減少末端取放機構夾爪震動的發生。

本實用新型的又一目的是在于提供一種應用于標準機械介面雙導螺桿倍行程與螺紋差動取放機構，其中該螺紋差動取放機構由于傳動軸傳動的一致性，可減少末端夾爪抓取失誤的發生。

本實用新型的再一目的是在于提供一種應用于標準機械介面雙導螺桿倍行程與螺紋差動取放機構，其中該螺紋差動取放機構造簡單，可大幅減少末端夾爪的重量及機構的復雜度，因此亦可減少機構的震動及慣性的發生。

本實用新型的他一目的是在于提供一種應用于標準機械介面雙導螺桿倍行程與螺紋差動取放機構，其中該螺紋差動取放機構各機構元件接觸變少，減少因相互摩擦而產生的粉塵微粒。

具有上述優點的本件應用于標準機械介面雙導螺桿倍行程與螺紋差動取放機構，包括有：