[發明專利]閃蒸器皿

無效

• 申請號: 00135062.5
• 申請日: 2000-12-14
• 公開（公告）號: CN1358880A
• 公開（公告）日: 2002-07-17
• 發明（設計）人: J·M·莫里斯
• 申請（專利權）人: 先進陶瓷公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 周備麟

1.一種小型化的用于在一個有限的區域內閃蒸金屬填料的蒸發皿，包含一個具有大致馬蹄形幾何構形的同質體，它有相反的端頭和一個上部，所述上部有一凹坑，用于容納要蒸發的金屬填料，還有兩條懸腿部，它們從所述相反端頭向下伸展，最靠近凹坑的每條腿的橫截面尺寸顯著小于每條腿部該處后縮的這部分的橫截面尺寸，從而在凹坑下面形成一個大開口區。

2.一種按權利要求1所述的小型化蒸發皿，其特征在于所述金屬填料選自一組包括鋁、銅、錫和銀在內的金屬。

3.一種按權利要求2所述的小型化蒸發皿，其特征在于所述同質體由選自包括二硼化鈦、氮化硼、氮化鋁、由熱解氮化硼復蓋的石墨一類及其組合的陶瓷復合物構成。

4.一種按權利要求3所述的小型化蒸發皿，其特征在于每條腿的橫截面尺寸是均勻一致的，但最靠近凹坑的區域除外。

5.一種按權利要求4所述的小型化蒸發皿，其特征在于每條腿最靠近凹坑處的橫截面尺寸和每條腿其余部分均勻的橫截面尺寸之比約為1∶3或更大。

6.一種按權利要求5所述的小型化蒸發皿，其特征在于每條腿至少包含一個孔，適于將所述器皿和一個外界電源連接。

7.一種按權利要求6所述的小型化蒸發皿，其特征在于每條腿上有兩個間隔規定距離的孔，適于將所述器皿和一個外界電源連接。

8.一種按權利要求4所述的小型化蒸發皿，其特征在于所述大開口區的寬度大致上和凹坑的寬度相等。