[發明專利]瞄準穩定的激光器

無效

• 申請號: 00134474.9
• 申請日: 1995-05-09
• 公開（公告）號: CN1320989A
• 公開（公告）日: 2001-11-07
• 發明（設計）人: 西田聡;大谷昭博
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: H01S3/02
• 分類號: H01S3/02;H01S3/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所
• 代理人: 張政權

本發明是1995年5月9日提交的中國專利申請95105262.4的分案申請。

本發明涉及一種能使瞄準穩定的激光器，這里所謂的瞄準是指一束激光束的發射位置和發射方向。

日本專利公報63-64073和634-832號中分別揭示了激光器。

圖20是日本專利公報63-64073號中揭示的一種激光器的示意透視圖。

參照圖20，激光器發射激光器2。該激光器有一條作為激光介質氣體的通路的管道3，一對放電電極4a和4b，一個第一激光束反射裝置5a，一個第二激光束反射裝置5b，一個風機6，一個熱交換器8，以及一個在低于0.1標準大氣壓的低真空下密封地容納著激光介質氣體的罩體10。全反射鏡26裝在第二反射裝置5b內。部分反射鏡32裝于第一反射裝置5a內。

圖21是日本專利公報64-832號中揭示的一種激光器的前視圖。圖22是該激光器的平面圖。圖23是該激光器的右視圖。圖24是沿圖23中的24-24剖取的剖面放大圖，顯示了該激光器的某些細節。圖25是沿圖23中的線25-25剖取的剖面放大圖，顯示了該激光器的另一些細節。圖26是沿圖23中的線26-26剖取的剖面放大圖，也顯示了該激光器的一些細節。

參閱圖21-26，激光器有金屬波紋管7、螺母9、滾動軸承11、托架12、罩殼13、球面軸承14、法蘭15、螺栓16和18、隔圈17、座板20a和20b、裝在罩體10上的固定底腳22、以及支撐桿24a、24b和24c。罩體10上設有進口34和出口36，以使用于冷卻熱交換器8的冷卻介質流進流出。管路35和37分別將進口34和出口36與熱交換器8連接起來。罩體10上的進口40和出口42用作冷卻電極4a和4b的冷卻介質的出入口。管路41和43分別將進口40和出口42與電極4a和4b連接起來。管路45把電極4a和4b連接起來。固定底腳22用于將罩體10固定在其它結構(未示)上。

激光器的工作過程描述如下：

在罩體10內，電極4a和4b通過放電，激發激光介質氣體，風機6使激光介質氣體不斷循環。熱交換器8用以冷卻激光介質氣體。激光介質氣體通過放電電極4a和4b之間并被激發而進入激光振蕩狀態。由于放電而溫度升高的激光介質氣體進入管道3，并在熱交換器8中冷卻，隨后沿箭頭A所示的方向經過風機6循環流動。分別包括在激光束反射裝置5a和5b內的部分反射鏡32和全反射鏡26構成共振反射鏡，其沿罩體10的縱向布置。由共振反射鏡形成的光路，穿越被放電激發的激光介質氣體的激發區。

經全反射鏡26反射的激光光束到達部分反射鏡32。已經達到部分反射鏡32的部分激光光束向外輸出，而其余的沿原路徑折回，借以不斷重復同一過程。激光光束重復地通過上述激發區時被增強，并由部分反射鏡向外輸出。激光束反射裝置5a和5b固定在座板20a和20b上，而座板20a和20b是由支撐桿24a、24b和24c支承。波紋管7分別連接在罩體10與右座板20a和左座板20b之間，以避免一個座板受到外力時傳遞到另一個上。

在激光器工作過程中，還需從一冷卻裝置之類的介質源(未示)供給冷卻介質，例如，冷卻介質從進口34進入罩體10內，經管路35進入熱交換器8，然后經出口36從罩體10內排出。從進口40進入的冷卻介質經管路41進入下面的電極4b，再經管路45進入上面的電板4a，最后經管路43和出口從罩體10內排出。罩體10固定在一個穩固的剛性結構上，例如有混凝土基礎的地板上，或者一個電力配電板的框架上，以便于給激光器供電。

接下來，描述罩體10和座板20a和20b的支承結構。座板20a由三根支撐桿24a、24b和24c支承。支撐桿24a、24b、24c對罩體10的連接結構是互不相同的。如圖25所示，支撐桿24a是由安裝在罩殼13內的球面軸承14支承，罩殼是固定在罩體10上。座板20a由螺母9固定在支撐桿24a的桿端。如圖26所示，支撐桿24b的端部裝在滾動軸承11內，托架12由螺栓18固定在罩體10上并以其平的表面與滾動軸承的下表面線接觸。在用螺母9將支撐桿24b緊固于座板20a時隔圈17使滾動軸套定位。如圖24所示，座板20a由螺母9固定在支撐桿24c上從而與罩體10隔開。上述三根支撐桿24a、24b和24c都由鎳鐵合金之類的線膨脹系數小的材料制成，以使座板20a和20b即使在溫度變化時也能保持平行。