[發(fā)明專利]半導體材料外延的廢氣中所含砷微粒的回收設備無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 00133595.2 | 申請日： | 2000-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN1144611C | 公開（公告）日： | 2004-04-07 |
| 發(fā)明（設計）人： | 宋航;周天明;張寶林;蔣紅;金億鑫;繆國慶 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | B01D47/14 | 分類號： | B01D47/14 |
| 代理公司： | 長春科宇專利代理有限責任公司 | 代理人： | 梁愛榮 |
| 地址： | 130022吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體材料 外延 廢氣 微粒 回收 設備 | ||
【權利要求書】：
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