[發明專利]氣體放電型顯示裝置的制造方法

無效

• 申請號: 00130665.0
• 申請日: 1996-04-20
• 公開（公告）號: CN1395276A
• 公開（公告）日: 2003-02-05
• 發明（設計）人: 藤原伸也
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: H01J17/49
• 分類號: H01J17/49;H01J9/00;G09F9/313
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 葉愷東

本發明涉及利用氣體放電顯示文字和圖象等的氣體放電型顯示裝置及其制造方法，特別涉及構成放電室的隔壁結構及其制造方法。

近年來氣體放電型顯示裝置(等離子顯示面板)作為平面型顯示裝置用在便攜式計算機等信息終端機上。由于這種氣體放電型顯示裝置顯示鮮明，并比液晶板的視野角寬，所以其應用范圍正在擴大。

隨著電視接收機的大型化，與此相應利用投射陰極射線管或液晶板的投射式電視等也正在商品化?？墒窃诋嬅娴牧炼群脱b置大小上都存在著問題。

氣體放電型顯示裝置隨著最近其彩色化技術的顯著進步，其進深可以做得比陰極射線管薄許多，所以其作為高清晰度用壁掛式電視機而引人注目，并且期待著再現真實顏色和亮度及壽命的提高。

以下就已有的存儲驅動方式和直流形氣體放電型顯示裝置的一個例子參照圖8進行說明。如圖8所示，在由透明玻璃等組成的前面板21上形成若干個條狀陰極線22。而在由透明玻璃等組成的后面板23上形成若干條狀的陽極母線24a。前面板21和后面板23按照陰極線22與陽極母線24a互相垂直地配置而夾著若干個隔壁25、并彼此相對。據此，由隔壁25包圍的多個放電室26形成矩陣狀。組合的前面板21和后面板23的周圍被低融點玻璃等密封，在放電室26的內部封入以稀有氣體為主體的放電氣體。

在后面板23的上面與各自的放電室26相對應分別形成了陽極電極24b。在各陽極電極24b的上面位于放電室26內形成了顯示電極體27。顯示電極體27通過電阻28與陽極母線24a相連接。這樣，通過陰極線22和顯示電極體(陽極)27在放電室26內形成一對放電電極。另外，在圖8中31是為了使放電室26的放電容易開始而用于產生輔助放電的輔助電極。

在形成陽極母線24a、陽極電極24b和電阻28的后面板23的上面除去顯示電極體27之外的部分上形成層間絕緣膜30。借此防止放電室26內的等離子體與陽極母線24a或電阻體28之間的放電。另外，在放電室26內的層間絕緣膜30上除去顯示電極體27之外的部分上涂敷熒光體29。

前面板21除去陰極線22之外的部分是透明的，并處在通過放電室26可直接觀察熒光體29表面的狀態。

陰極線22、陽極母線24a、陽極電極24b、顯示電極體27、電阻28、層間絕緣膜30、熒光體29和隔壁25等是利用厚膜印刷技術而形成在由玻璃板等組成的前面板21或后面板23上。

在上述構成中，為了象上述高清晰度電視那樣提高像素密度并再生出高精細的圖象，有必要超精細地形成構成放電室的隔壁。具體地講，必須形成具有高160-200μm、寬50-60μm形成尺寸的精細的隔壁。特別是為了顯示彩色圖象必須使一個點由R、G、B的三個放電室構成，如果要獲得高精細度的顯示圖象，則必須具有非常微細和高精度地形成的形狀尺寸的隔壁。

下面參照附圖說明已有的氣體放電型顯示裝置中的隔壁的形成方法。圖9是表示已有的氣體放電型顯示裝置中的隔壁形成方法的工藝圖，圖10是表示這種噴砂工藝的概略圖。另外，在圖9和10略去了與形成隔壁沒有關系的構成要素。

首先如圖9(a)所示，在由形成有陽極電極24b的透明玻璃等組成的后面板23的上面，利用刮涂法涂敷用于形成隔壁25的活性膏32。接著在使活性膏32干燥固化后，按圖9(b)所示，在活性膏32上貼上感光膜33。接著按圖9所示，通過形成有隔壁圖形的曝光掩模向感光膜33上照射紫外線，使感光部分經顯影除去后就形成掩膜圖形34。接著按圖9(d)所示，利用裝有噴槍35的噴砂裝置，把由玻璃絲等組成的研磨砂吹到活性膏32上。借此除去形成掩膜圖形34之外的部分活性膏32被切削。最后按圖9(e)所示，利用剝離劑除去掩膜圖形34。通過以上的工藝在后面板23上形成隔壁25。

如圖10所示，在上述工藝(d)中，后面板23向一個方向移動，而噴砂裝置(噴槍35)對著后面板23的移動方向沿直角方向在后面板23上的掩膜圖形34的上方往復運動。在這種狀態下，玻璃絲等組成的研磨砂從噴槍35的噴嘴噴射出，對沒有形成掩膜圖形34的部分的活性膏32進行切削。