[發明專利]收集裝置

有效

• 申請號: 00126287.4
• 申請日: 2000-08-03
• 公開（公告）號: CN1284613A
• 公開（公告）日: 2001-02-21
• 發明（設計）人: 野村典彥
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: F15B21/00
• 分類號: F15B21/00;H01L21/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 劉興鵬

1．一種收集裝置，它包括：

一排氣道，用于通過真空泵將氣密密封室抽成真空；

一氣密密封收集容器，交叉延伸通過上述排氣道和鄰設于上述排氣道的再生通道；

一收集器，位于上述收集容器中以吸附被排放氣體中的產物，并從被上述排放氣體中去除上述產物，上述收集器有選擇地位于上述排氣道或上述再生通道上；

一閥門件，位于上述收集器的兩側，可與上述收集器一體移動；

一密封件，安裝在上述閥門件的外周表面上，以便上述收集器被移動時能夠在上述收集容器的內周表面上滑動。

2．如權利要求1所述的一種收集裝置，其特征在于：在上述收集容器中至少設置兩個收集器以便同時在上述排氣道內實現收集操作和在上述再生通道內實現再生操作。

3．如權利要求1所述的一種收集裝置，其特征在于：上述密封件安裝在上述閥門件的外周表面上以便向上述收集容器的內周表面擴展。

4．如權利要求3所述的一種收集裝置，其特征在于：只有上述密封件被徑向擴展時，上述密封件才與上述收集容器的內周表面形成壓力接觸。

5．如權利要求3所述的一種收集裝置，其特征在于：上述閥門件包括通過向外擠壓上述密封件而使上述密封件徑向擴展的機構。

6．如權利要求5所述的一種收集裝置，其特征在于：使上述密封件相對徑向擴展的上述機構移動一對相互面對的元件或一對具有錐形表面的元件以使它們能夠相互遠離和接近，上述錐形表面相互面對，并具有一個在水平截面外延的V字形狀。

7．一種收集裝置，它包括：

一排氣道，通過真空泵將氣密密封室抽成真空；

一氣密密封收集容器，具有一進氣口和一出氣口，并構成上述排氣道的一部分；

一收集器，位于上述收集容器內，吸附排放氣體中的產物并將上述產物從上述排放氣體中去除；

一節流閥部分，位于上述收集容器的吸氣口，用于調節上述吸氣口的排放氣體的流量，以便上述排放氣體流向上述收集器內部。

8．如權利要求7所述的一種收集裝置，其特征在于：上述收集器包括一具有彎曲收集表面的擋板。

9．如權利要求8所述的一種收集裝置，其特征在于：上述收集表面是弧形狀，上述弧形的軸線穿過上述排氣道。

10．一種收集裝置，它包括：

一排氣道，通過真空泵將氣密密封室抽成真空；

一氣密密封收集容器，具有一進氣口和一出氣口，并構成上述排氣道的一部分；

一收集器，位于位于收集容器內，吸附排放氣體中的產物并將上述產物從上述排放氣體中去除；

一抑制器，位于上述收集容器的排氣口，用于抑制上述排氣口的排放氣體的流量。

11．如權利要求10所述的一種收集裝置，其特征在于：上述收集器包括一具有弧形收集表面的擋板。

12．如權利要求11所述的一種收集裝置，其特征在于：上述收集表面是弧形狀，上述弧形的軸線穿過上述排氣道。