[發明專利]包含雙鍵的交聯劑單體及含有此單體的光致抗蝕劑共聚物

有效

• 申請號: 00123479.X
• 申請日: 2000-08-17
• 公開（公告）號: CN1285529A
• 公開（公告）日: 2001-02-28
• 發明（設計）人: 李根守;鄭載昌;白基鎬
• 申請（專利權）人: 現代電子產業株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 王維玉,丁業平

1．一種衍生自單體的光致抗蝕劑聚合物，該聚合物包括：(ⅰ)下式的交聯劑單體：

R₁，R₂，R₃，R₄，R₅，R₆，R₇和R₈各自獨立地為H，或經取代或未經取代的直鏈或支鏈(C₁-C₅)烷基；和

k是從0到3的整數；及

(ⅱ)至少一種其它適當的光致抗蝕劑單體。

2．根據權利要求1的光致抗蝕劑聚合物，其中所說的交聯劑單體選自由下式的化合物：

3．根據權利要求1的光致抗蝕劑聚合物，其中所說的交聯劑單體選自由2，5-己二醇二丙烯酸酯、2，5-己二醇二甲基丙烯酸酯、2，4-戊二醇二丙烯酸酯、2，4-戊二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、和新戊二醇二甲基丙烯酸酯所組成的組中。

4．根據權利要求1的光致抗蝕劑聚合物，其式為：其中

R₁，R₂，R₃，R₄，R₅，R₆，R₇，R₈，和k如權利要求1所定義；

R₉和R₁₀各自獨立地為_H，或經取代或未經取代的直鏈或支鏈(C₁-C₅)烷基；

i是0或1；

m和n獨立地為0到2的整數；及

a∶b∶c∶d∶e的比例=0-80摩爾％∶1-30摩爾％∶1-30摩爾％∶0.1-48摩爾％∶10-50摩爾％。

5．一種制備權利要求1的光致抗蝕劑聚合物的方法，該方法包括下列步驟：

(a)混合

(ⅰ)一種下式的交聯劑單體：

其中A，B，R₁，R₂，R₃，R₄，R₅，R₆，R₇，R₈，和k如權利要求1所定義；

(ⅱ)至少一種其它適當的光致抗蝕劑單體，和

(ⅲ)一種聚合作用引發劑；及

(b)提供足以從步驟a)所獲得的混合物制備所說的光致抗蝕劑聚合物的聚合條件。

6．根據權利要求5的方法，其中所說的聚合條件包括在惰性氣體下將所說的混合物加熱至大約60到大約70℃的溫度范圍保持4到24小時。

7．根據權利要求5的方法，其中所說的混合物還包括選自由環己酮、四氫呋喃、二甲基甲酰胺、二甲亞砜、二噁烷、甲基乙基酮、苯、甲苯、二甲苯和其混合物所組成的組中的一種有機溶劑。

8．根據權利要求5的方法，其中所說的聚合作用引發劑選自由2，2＇-偶氮雙異丁腈(AIBN)、乙酰過氧化物、月桂基過氧化物、過乙酸叔丁基酯，叔丁基過氧化氫和二叔丁基過氧化物所組成的組中。

9．根據權利要求5的方法，該方法還包括由使用選自乙醚、石油醚、醇、水和其混合物的結晶溶劑的結晶作用純化聚合物的步驟。

10．一種光致抗蝕劑組合物，該組合物含有(ⅰ)一種權利要求1的光致抗蝕劑聚合物，(ⅱ)一種有機溶劑，和(ⅲ)一種光酸產生劑。

11．根據權利要求10的組合物，其中所說的光酸產生劑為硫化物或鎓類化合物。

12．根據權利要求10的組合物，其中所說的光酸產生劑包括六氟化磷酸二苯碘葎、六氟化砷酸二苯碘葎、六氟化銻酸二苯碘葎、三氟甲磺酸二苯基對甲氧基苯基酯、三氟甲磺酸二苯基對亞芐基酯、三氟甲磺酸二苯基對異丁基苯基酯、三氟甲磺酸二苯基對叔丁基苯基酯、六氟化磷酸三苯基锍、六氟化砷酸三苯基锍、六氟化銻酸三苯基锍、三氟甲磺酸三苯基锍、三氟甲磺酸二丁基萘基锍或其混合物。