[發明專利]物體位移的納米精度的測量方法

無效

• 申請號: 00119556.5
• 申請日: 2000-08-03
• 公開（公告）號: CN1280293A
• 公開（公告）日: 2001-01-17
• 發明（設計）人: 王向朝;王學鋒;錢鋒
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01B11/04
• 分類號: G01B11/04;G01B9/02
• 代理公司: 上海華東專利事務所
• 代理人: 李蘭英

1．一種物體位移的納米精度的測量方法，是采用光熱正弦相位調制激光束波長的干涉測量方法，具體步驟是：

<1>取波長λ₀被光熱正弦相位調制的激光束；

<2>將上述激光束導入邁克爾遜干涉儀，經過被測物體反射的探測光束與參考光束產生干涉信號，用光電探測器將干涉光信號轉換成電信號，經數據采集卡輸入到計算機內；

<3>對采集的干涉信號進行傅立葉變換，求出正弦相位調制深度Z，求出被測物體在t時刻干涉信號的相位α′(t)的正弦函數sin[a(t)]和余弦函數cos[a(t)]，；其特征在于

<4>根據上述步驟的sin[a(t)]和cos[a(t)求出α′(t)后，采用相鄰兩個采樣點的相位差絕對值小于π的修正方法對α′(t)進行修正，獲取修正值α(t)；

<5>根據上述求得的修正值α(t)和公式α(t)=4πr(t)/λ₀求出被測物體的位移r(t)，其中λ₀為被光熱正弦相位調制的中心波長。

2．根據權利要求1所述的物體位移的納米精度的測量方法，其特征在于所說的獲取光熱正弦相位調制激光束波長λ₀的干涉信號所用的裝置主要有兩個光源，一個是原光源(8)，另一個是由正弦信號發生器(2)與驅動器(3)控制的光強是正弦變化的調制光源(4)，調制光源(4)利用光熱效應對原光源(8)輸出的波長進行正弦調制，原光源(8)輸出正弦相位調制波長的激光束通過偏振分束器(6)后，進入由分束器(10)，參考反射鏡(11)和被測物體(12)構成的邁克爾遜干涉儀至光電探測器(13)，光電探測器(13)的輸出經數據采集卡(14)輸入到計算機(15)內。