[發(fā)明專利]鋯鈦酸鉛鐵電薄膜材料的制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 00115348.X | 申請日： | 2000-04-06 |
| 公開（公告）號： | CN1267654A | 公開（公告）日： | 2000-09-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 褚君浩;孟祥建;孫璟蘭 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學院上海技術(shù)物理研究所 |
| 主分類號： | C04B35/624 | 分類號： | C04B35/624;C04B35/491 |
| 代理公司： | 上海華東專利事務(wù)所 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 鋯鈦酸 鉛鐵 薄膜 材料 制備 方法 | ||
1.一種鋯鈦酸鉛鐵電薄膜材料的制備方法，其特征在于該制備方法包括以下幾個步驟：
(1).前驅(qū)體溶液的配制：
溶劑為醋酸(CH3COOH)，去離子水，穩(wěn)定劑為氨基酸(NH2CH2COOH)，其體積比為25-30∶4-5∶1-2；溶質(zhì)為硝酸鋯，鈦酸四丁酯，醋酸鉛；
配制的程序是：
A.稱取一定量的硝酸鋯(0.01-0.03摩爾)加入醋酸中，加熱至60-80℃使硝酸鋯完全溶解；
B.按鋯/鈦化學計量比加入鈦酸四丁酯(0.01-0.03摩爾)，加熱至80-100℃，得到一澄清的溶液；
C.稱取與(硝酸鋯+鈦酸四丁酯)等摩爾數(shù)的醋酸鉛溶于另一醋酸中，加熱至60-80℃使之完全溶解；
D.將上述兩種溶液混合，加入氨基酸，加熱至100-120℃，時間100-120分鐘，使溶液充分溶解，然后將溶液的濃度調(diào)節(jié)為0.1-0.4M，即制成了穩(wěn)定的前驅(qū)體溶液；
(2)薄膜材料的制備：
將配制好的前驅(qū)體溶液滴到基片上，用勻膠機將溶液均勻甩開，甩膠轉(zhuǎn)速為3000-6000轉(zhuǎn)/分，時間為20-30秒，溶劑迅速揮發(fā)得到凝膠膜，然后將凝膠膜與基片一起置于退火爐中分段升溫進行熱處理，即在150-200℃下，加熱2-3分鐘，再在300-400℃下，熱解3-5分鐘，最后在500-650℃高溫下，退火3-5分鐘；重復(fù)上述過程，直至得到所需厚度的PZT薄膜材料。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋯鈦酸鉛鐵電薄膜材料的制備方法，其特征在于所說的基板為Pt/Ti/SiO2/Si。
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