[發明專利]0.35微米投影光刻物鏡

無效

• 申請號: 00109948.5
• 申請日: 2000-07-26
• 公開（公告）號: CN1335525A
• 公開（公告）日: 2002-02-13
• 發明（設計）人: 陳旭南;姚漢民;林嫵媚;余國彬
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G02B13/24
• 分類號: G02B13/24;G02B13/22
• 代理公司: 中國科學院成都專利事務所
• 代理人: 張一紅,王慶理

1、一種0.35微米投影光刻物鏡，包括鏡筒和內部透鏡框組件，其特征在于：外層為通有恒溫水的恒溫密封上下外套(38)和(40)，中間層為由鏡筒(4)、鏡筒(13)、鏡筒(17)、鏡筒(27)和鏡筒(30)構成的鏡筒，支撐整個物鏡的大法蘭(39)包含在其中的一節鏡筒(17)中，內層為分隔固定光學透鏡元件的透鏡框組件(2)、(3)、(5)、(6)、(7)、(8)、(9)、(10)、(11)、(12)、(14)、(15)、(16)、(18)、(19)、(20)、(21)、(22)、(25)、(26)、(28)、(29)、(31)、(32)、(33)、(34)、(35)、(36)、平鏡組件(24)和光欄組件(23)。

2、根據權利要求1所述的0.35微米投影光刻物鏡，其特征在于該光學系統為像方遠心和物方遠心的雙遠心系統，光欄組件(23)的光欄面為前組的像方焦面，也為后組的物方焦面。