[發明專利]真空微電子多功能傳感器及制備方法無效
| 申請號： | 00109609.5 | 申請日： | 2000-06-16 |
| 公開（公告）號： | CN1153953C | 公開（公告）日： | 2004-06-16 |
| 發明（設計）人： | 夏善紅;蘇杰 | 申請（專利權）人： | 中國科學院電子學研究所 |
| 主分類號： | G01D5/12 | 分類號： | G01D5/12;G01L21/00;G01K7/18 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 戎志敏 |
| 地址： | 100080*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空 微電子 多功能 傳感器 制備 方法 | ||
【說明書】：
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