[發明專利]用電弧離子鍍沉積氮化鈦鈮硬質薄膜的方法無效
| 申請號： | 00108514.X | 申請日： | 2000-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN1129679C | 公開（公告）日： | 2003-12-03 |
| 發明（設計）人： | 林國強 | 申請（專利權）人： | 大連理工大學 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 大連理工大學專利中心 | 代理人： | 侯明遠 |
| 地址： | 116023 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用電 離子鍍 沉積 氮化 硬質 薄膜 方法 | ||
【權利要求書】：
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