[發(fā)明專利]有機(jī)抗反射聚合物及其制備方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 00107857.7
• 申請(qǐng)日: 2000-06-26
• 公開（公告）號(hào): CN1290712A
• 公開（公告）日: 2001-04-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 洪圣恩;鄭旼鎬;白基鎬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C08F220/10
• 分類號(hào): C08F220/10;C09D133/08;H01L31/036
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 甘玲

1、一種含有由下述通式3表示的單體的聚合物：

其中，R是氫或甲基；且n為2或3。

2、一種制備由下述通式3表示的單體的方法，

其中，R是氫或甲基；且n為2或3；其包括：在三乙胺中將對(duì)-甲苯磺酰氯與一種選自于丙烯酸2-羥乙酯、丙烯酸2-羥丙酯、甲基丙烯酸2-羥乙酯和甲基丙烯酸2-羥丙酯的化合物反應(yīng)；用水中和并洗滌所述反應(yīng)混合物；從有機(jī)層中提取反應(yīng)物；并除去剩余水分以制得固態(tài)單體。

3、由下述通式1表示的一種聚合物：

其中，R_a、R_b、R_c和R_d均為氫或甲基；

R₁表示氫、羥基，經(jīng)取代或未取代的、直鏈或支鏈C₁-C₅烷基、環(huán)烷基、烷氧基烷基或環(huán)烷氧基烷基；

w、x、y和z均為0．01-0．99的摩爾分?jǐn)?shù)；且n₁、n₂、n₃和n₄均為1-4的整數(shù)。

4、如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中R₁表示甲基。

5、如權(quán)利要求3所述的聚合物，其包含聚(丙烯酸甲苯磺酰基乙酯-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，其中丙烯酸甲苯磺?；阴ァ帽┧崃u乙酯∶甲基丙烯酸甲酯∶甲基丙烯酸縮水甘油酯的摩爾比為0．3∶0．25∶0．1∶0．3。

6、如權(quán)利要求3所述的聚合物，其包含聚(丙烯酸甲苯磺酰基乙酯-甲基丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，其中丙烯酸甲苯磺酰基乙酯∶甲基丙烯酸羥乙酯∶甲基丙烯酸甲酯∶甲基丙烯酸縮水甘油酯的摩爾比為0．3∶0．2∶0．1∶0．3。

7、如權(quán)利要求3所述的聚合物，其包含聚(丙烯酸甲苯磺酰基乙酯-丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，其中丙烯酸甲苯磺酰基乙酯∶丙烯酸羥丙酯∶甲基丙烯酸甲酯∶甲基丙烯酸縮水甘油酯的摩爾比為0．3∶0．25∶0．1∶0．3。

8、如權(quán)利要求3所述的聚合物，其包含聚(丙烯酸甲苯磺酰基乙酯-甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，其中丙烯酸甲苯磺?；阴ァ眉谆┧崃u丙酯∶甲基丙烯酸甲酯∶甲基丙烯酸縮水甘油酯的摩爾比為0．3∶0．23∶0．1∶0．3。

9、如權(quán)利要求3所述的聚合物，其包含聚(丙烯酸甲苯磺酰基乙酯-丙烯酸羥丁酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，其中丙烯酸甲苯磺酰基乙酯∶丙烯酸羥丁酯∶甲基丙烯酸甲酯∶甲基丙烯酸縮水甘油酯的摩爾比為0．3∶0．2∶0．1∶0．3。

10、如權(quán)利要求3所述的聚合物，其包含聚(甲基丙烯酸甲苯磺酰基乙酯-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，其中甲基丙烯酸甲苯磺?；阴ァ帽┧崃u乙酯∶甲基丙烯酸甲酯∶甲基丙烯酸縮水甘油酯的摩爾比為0．3∶0．25∶0．15∶0．3。

11、如權(quán)利要求3所述的聚合物，其包含聚(甲基丙烯酸甲苯磺?；阴?甲基丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，其中甲基丙烯酸甲苯磺?；阴ァ眉谆┧崃u乙酯∶甲基丙烯酸甲酯∶甲基丙烯酸縮水甘油酯的摩爾比為0．3∶0．2∶0．15∶0．3。

12、如權(quán)利要求3所述的聚合物，其包含聚(甲基丙烯酸甲苯磺?；阴?丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，其中甲基丙烯酸甲苯磺?；阴ァ帽┧崃u丙酯∶甲基丙烯酸甲酯∶甲基丙烯酸縮水甘油酯的摩爾比為0．3∶0．25∶0．15∶0．3。

13、如權(quán)利要求3所述的聚合物，其包含聚(甲基丙烯酸甲苯磺?；阴?甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，其中甲基丙烯酸甲苯磺酰基乙酯∶甲基丙烯酸羥丙酯∶甲基丙烯酸甲酯∶甲基丙烯酸縮水甘油酯的摩爾比為0．3∶0．22∶0．15∶0．3。