[發明專利]薄膜制造方法和裝置、帶薄膜的旋轉橢圓體及應用它的電燈

無效

• 申請號: 00106537.8
• 申請日: 2000-04-07
• 公開（公告）號: CN1277457A
• 公開（公告）日: 2000-12-20
• 發明（設計）人: 小俁雄二;橋本尚隆;橫山政秀;末光敏行;北井崇博
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社;松下電子工業株式會社
• 主分類號: H01K3/00
• 分類號: H01K3/00;H01K1/32;C23C14/22
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 姜郛厚,葉愷東

1、一種薄膜制造方法，是利用從襯底側看去從位于特定方向的成膜源飛來的成膜粒子在包含旋轉橢圓體形狀的襯底上形成薄膜的薄膜制造方法，其特征在于，以上述旋轉橢圓體形狀的旋轉軸為中心，使上述襯底以一定的角速度旋轉，進行自旋運動，同時，以上述旋轉軸上的上述旋轉橢圓體形狀的2焦點間的中心附近為中心，使上述旋轉軸以一定周期在同一面內旋轉振動，進行使上述襯底旋轉振動的搖擺運動，從而在上述襯底上形成薄膜。

2、權利要求1記載的薄膜制造方法，其特征在于，上述搖擺運動使上述旋轉軸的上述中點的上側部分靠近上述成膜源，使上述中點的下側部分遠離上述成膜源。

3、權利要求1記載的薄膜制造方法，其特征在于，上述成膜源是平板，上述搖擺運動這樣進行，即，使上述旋轉軸在垂直上述平板的面的面內，以一定周期旋轉振動。

4、權利要求1記載的薄膜制造方法，其特征在于，上述搖擺運動的旋轉振動的旋轉角速度連續變化。

5、權利要求1記載的薄膜制造方法，其特征在于，對于上述搖擺運動的旋轉振動，通過在上述旋轉振動的范圍內設定多個停留位置和在上述各停留位置的停留時間，使上述旋轉振動斷續變化。

6、權利要求1記載的薄膜制造方法，其特征在于，上述薄膜的形成使用濺射法或蒸鍍法。

7、權利要求6記載的薄膜制造方法，其特征在于，上述薄膜是從紅外反射膜和擴散膜中選出的至少一種膜。

8、權利要求1記載的薄膜制造方法，其特征在于，包括上述旋轉橢圓體形狀的襯底是電燈泡。

9、權利要求8記載的薄膜制造方法，其特征在于，上述搖擺運動的旋轉振動的中心是在上述電燈泡的燈絲部的長邊方向的中心附近。

10、一種形成薄膜的旋轉橢圓體，是利用從被鍍體看去從位于特定方向的成膜源飛來的成膜粒子形成薄膜的作為上述被鍍體的旋轉橢圓體，其特征在于，以上述旋轉橢圓體形狀的旋轉軸為中心，使上述旋轉橢圓體以一定的角速度旋轉，進行自旋運動，同時，以上述旋轉軸上的上述旋轉橢圓體形狀的2焦點間的中點附近為中心，使上述旋轉軸以一定周期在同一面內旋轉振動，進行使上述旋轉橢圓體旋轉振動的搖擺運動，從而在上述旋轉橢圓體上形成薄膜，由此，在上述旋轉橢圓體形狀表面上形成的薄膜至少在上述自旋運動的旋轉方向和上述搖擺運動的旋轉振動方向上，其膜厚分布是均勻的。

11、權利要求10記載的旋轉橢圓體，其特征在于，上述搖擺運動使上述旋轉軸的上述中點的上側部分靠近上述成膜源，使上述中點的下側部分遠離上述成膜源。

12、權利要求10記載的旋轉橢圓體，其特征在于，上述成膜源是平板，上述搖擺運動使上述旋轉軸在垂直上述平板的面的面內，以一定周期旋轉振動。

13、權利要求10記載的旋轉橢圓體，其特征在于，上述薄膜使用濺射法或蒸鍍法形成。

14、權利要求10記載的旋轉橢圓體，其特征在于，上述薄膜是從紅外反射膜和擴散膜中選出的至少一種膜。

15、權利要求10記載的旋轉橢圓體，其特征在于，上述旋轉橢圓體是電燈泡。

16、權利要求15記載的旋轉橢圓體，其特征在于，上述搖擺運動的旋轉振動的中心是在上述電燈泡的燈絲部的長邊方向的中心附近。

17、一種電燈泡，其特征在于，將形成了權利要求10至16中任何一項記載的薄膜的旋轉橢圓體作為電燈泡使用。

18、一種薄膜形成裝置，是利用從襯底側看去從位于特定方向的成膜源飛來的成膜粒子在包括旋轉橢圓體形狀的襯底上形成薄膜的薄膜形成裝置，其特征在于，具有旋轉機構，能夠以上述旋轉橢圓體形狀的旋轉軸為中心，使上述襯底以一定的角速度旋轉，進行自旋運動，同時，以上述旋轉軸上的上述旋轉橢圓體形狀的2焦點間的中點附近為中心，使上述旋轉軸以一定周期在同一面內旋轉振動，進行使上述襯底旋轉振動的搖擺運動。

19、權利要求18記載的薄膜形成裝置，其特征在于，上述薄膜的形成使用高頻濺射法或直流濺射法。