[發明專利]不需打線之電子器件無效
| 申請號: | 00106220.4 | 申請日: | 2000-04-27 |
| 公開(公告)號: | CN1320956A | 公開(公告)日: | 2001-11-07 |
| 發明(設計)人: | 陳慶豐 | 申請(專利權)人: | 北京普羅強生半導體有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50;H05K3/30;H05K13/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 100029 北京*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 不需打線 電子器件 | ||
1、一種不需打線之電子器件其為表面電極與形成電子回路的基板直接接合的封裝方式,特征如下:對于面朝下之晶片電極,為使其正確地安裝在基板上所指定的位置,透過對照晶粒下方電極的位置,于該電極正上方晶片表面形成標線,進而形成一關鍵定位圖,確實將晶片安裝于基板上;
2、依申請專利范圍第1項所述一種不需打線之電子器件,其中該標線形成是使用兩片完全相同且相互對位準確的玻璃掩膜板,再將該生產用之晶粒電極面朝上,并插入該兩片玻璃掩膜板之間,采用兩面對位裝置,調整該生產用之晶粒的位置,使該玻璃掩膜板上分割線與該生產用之晶粒上的電極正確對位,再從上下兩面同時進行紫外線曝光,使該分割線轉印至該生產用之晶粒上,最后經過顯影,烘焙并進行刻蝕,形成穩定的晶粒上方關鍵定位圖形,進而使本發明得以完成。
3、依申請專利范圍第1項所述一種不需打線之電子器件,其中該關鍵定位圖形包含器件結構中所先前形成的圖形。
4、依申請專利范圍第1項所述一種不需打線之電子器件,其中該關鍵定位圖形采用多接線柱接線,該晶片上方中心分割線,最少由兩條標線X及Y方向所組成;
5、依申請專利范圍第1項所述一種不需打線之電子器件,當晶片下方電極腳位呈兩列結構時,則采用電極的中心直線,在X向及Y向多兩條標線合計四個定位點,或在任一方向單設一條合計三個定位點結構圖形者。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





