[發(fā)明專利]靜電消除器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 00102391.8
• 申請日: 2000-02-22
• 公開（公告）號: CN1271247A
• 公開（公告）日: 2000-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高柳真
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社高柳研究所
• 主分類號: H05F3/00
• 分類號: H05F3/00
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 馬浩

本發(fā)明涉及一種靜電消除器。

在其中處理半導(dǎo)體或進(jìn)行諸如涂敷、電鍍、或蒸發(fā)之類的表面處理的工業(yè)領(lǐng)域中，消除或除去作為有害物的靜電。常規(guī)靜電消除或除去儀器或工具，在下文稱作靜電消除器，將在下面解釋。

(1)電離器：

電離器電離空氣，并且噴出或排出離子。電離器安裝到機(jī)器上以從工件上消除或除去靜電，或者由操作者手持和移動以從工件去除靜電。在前一種情況下，把工件放到電離器安裝到其上的工作臺上，并且使電離器向工件排出離子且從工件去除靜電。在后一種情況下，操作者手握電離器，以便把來自電離器的離子引向工件并且從工件去除靜電。

(2)腕套：

腕套或?qū)щ妿翟诓僮髡叩氖滞笊希詮娜梭w去除靜電。這僅能從坐在工件放在其上的工作臺前的操作者去除靜電，而不能從行走的操作者去除靜電。實(shí)際上，操作者往往來回走動而不帶腕套。因此，對于下次操作，操作者會忘記把腕套系在他的手腕上。而且，由電線把腕套連接到接地點(diǎn)的大地上。然而，由于導(dǎo)線經(jīng)多個接合點(diǎn)連接到腕套上，所以可能引起多種事故。

(3)抗靜電衣：

操作者穿上其上不怎么產(chǎn)生靜電的衣服以防止靜電產(chǎn)生。這種衣服能減少靜電產(chǎn)生，但不能除去產(chǎn)生的靜電。

(4)導(dǎo)電鞋：

把在操作期間使用的鞋制成導(dǎo)電的。這種鞋把人體上產(chǎn)生的靜電傳送到導(dǎo)電地板上。在這種情況下，需要導(dǎo)電地板，并且普通地板或非導(dǎo)電地板是無效的。

(5)被動去除靜電工具：

(a)環(huán)型

環(huán)型去除靜電工具戴在操作者的手指上以便使用。當(dāng)電荷積累到高于一個靜電電位時，這種工具放出電荷以把電荷排放到空氣中，并且然后降低靜電電位。然而，由于當(dāng)電荷降低到一定靜電電位以下時去除靜電工具的放電停止，所以去除靜電工具不能除去低的靜電電位。

(b)手表型

手表型去除靜電工具戴在操作者的手腕上以便使用。當(dāng)電荷積累到高于一個靜電電位時，這種工具放出電荷以把電荷排放到空氣中，并且然后降低靜電電位。然而，由于當(dāng)電荷降低到一個靜電電位以下時去除靜電工具的放電停止，所以去除靜電工具不能除去較低的靜電電位。

即使當(dāng)使用這些去除靜電儀器或工具之一時，在如下情況中去除靜電也相當(dāng)困難。例如，當(dāng)操作者來回走動時，衣服在其間引起摩擦，并且然后產(chǎn)生靜電而累積在人體上。如果襪子由導(dǎo)電纖維制成，鞋是導(dǎo)電的，及地板是導(dǎo)電的，則積累的靜電能離開人體。然而，由于通常操作者不處在這樣的環(huán)境中，所以存在要解決的問題。例如，當(dāng)攜帶電荷的操作者接觸工件時，就電擊并且然后損壞工件。對于另一個例子，其上積累電荷的灰塵落到工件上，并且然后引起工件損壞。如上所述，按常規(guī)，從行走操作者去除靜電的完美方法是不存在的。

而且，當(dāng)加工例如切削或磨削諸如塑料船體之類的大物體時，使用諸如切削刀具或磨輪之類的氣動工具。由于把氣源連接到氣動工具上的通氣軟管，通常由其中靜電不會離開的絕緣材料制成，所以在機(jī)加工期間由摩擦產(chǎn)生的靜電通過通氣軟管積累在人體上。隨著靜電或電荷積累到一定值，突然引起向地板放電，給操作者一次大電擊。在這樣一種情況下，由于操作者來回走動，所以沒有去除靜電的完美方法。

常規(guī)電離器包括吹氣槍型靜電消除器。如圖43中所示，常規(guī)吹氣槍型靜電消除器600建造成，吹氣槍裝有一個電氣部分，即電離器的放電電極。吹氣槍包括一個經(jīng)其流動壓縮空氣的圓柱形槍體602、一根壓縮空氣經(jīng)其供給到槍體602的通氣軟管604、及提供在槍體602的前端處的空氣噴嘴606。

吹氣槍裝有一個放電電極部分608，電極部分608包括一個提供在槍體602與空氣噴嘴606之間的圓柱形絕緣體608a、和一個布置在圓柱形絕緣體608a的中心的放電針608b。放電針608b從高壓發(fā)生器610經(jīng)一根高壓電纜612供有高壓。

另一種常規(guī)吹氣槍型靜電消除器建造成，一個高壓發(fā)生器與槍體整體地布置。

這些常規(guī)吹氣槍型靜電消除器的共同之處在于，一個高壓放電電極部分包括在吹氣槍部分或結(jié)構(gòu)中。為此，常規(guī)吹氣槍型靜電消除器具有下述缺點(diǎn)。

(1)吹氣槍使用壓縮空氣。把壓縮空氣運(yùn)送到其中空氣突然膨脹的吹氣槍中。由于空氣給出絕熱膨脹和冷卻，所以水珠在吹氣槍中的產(chǎn)生不可避免。如圖44中所示，這是是電氣部分，即吹氣槍型靜電消除器的放電電極部分，的剖視圖，吹氣槍總是伴隨有水珠的產(chǎn)生。從高壓電極的放電針608b或高壓電纜612經(jīng)水珠漏電。就是說，產(chǎn)生電泄漏。結(jié)果，工作時用手?jǐn)y帶吹氣槍的操作者將處于受電擊或帶電的危險中。