[發(fā)明專(zhuān)利]液體噴灑裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 00101145.6
• 申請(qǐng)日: 2000-01-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN1307254A
• 公開(kāi)（公告）日: 2001-08-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林育民
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 達(dá)碁科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03D5/04
• 分類(lèi)號(hào): G03D5/04
• 代理公司: 柳沈知識(shí)產(chǎn)權(quán)律師事務(wù)所
• 代理人: 王景剛

1.一種液體噴灑裝置，其包括有：

一殼體，其包括有一中空的內(nèi)艙，該內(nèi)艙的底側(cè)設(shè)有一底座用來(lái)水平地放置一基板；

多個(gè)輸送管，垂直地設(shè)于該內(nèi)艙的上側(cè)，每一輸送管的下端設(shè)有一噴嘴，用來(lái)向下噴灑一特定的液體；

一連接裝置，固定于該多個(gè)輸送管之上，用來(lái)帶動(dòng)該多個(gè)輸送管的噴嘴以使該多個(gè)噴嘴得以同時(shí)向一被帶動(dòng)的方向噴灑該液體；以及

一驅(qū)動(dòng)裝置，固定于該殼體內(nèi)，用來(lái)驅(qū)動(dòng)該連接裝置向不同的方向移動(dòng)以使該多個(gè)噴嘴得以由不同的方向?qū)⒃撘后w噴灑至該基板上。

2.如權(quán)利要求1所述的液體噴灑裝置，其中該連接裝置為一包括有多根固定桿的方形框架，該多個(gè)輸送管的下端分別固定在該方形框架上。

3.如權(quán)利要求1所述的液體噴灑裝置，其中該底座包含有多根轉(zhuǎn)軸，用來(lái)將該基板沿一第一水平方向傳送至該多個(gè)輸送管之下。

4.如權(quán)利要求3所述的液體噴灑裝置，其中該驅(qū)動(dòng)裝置可沿該第一水平方向或是與該第一水平方向相垂直的第二水平方向往復(fù)地驅(qū)動(dòng)該連接裝置以使該液體可由該第一或第二水平方向往復(fù)地噴灑至該基板上。

5.如權(quán)利要求4所述的液體噴灑裝置，其中該驅(qū)動(dòng)裝置包括有：

一第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，連接于該連接裝置之上，其可沿該第一水平方向往復(fù)地帶動(dòng)該連接裝置；

一第一驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，用來(lái)往復(fù)地帶動(dòng)該第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以使該第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可沿該第一水平方向往復(fù)地帶動(dòng)該連接裝置；

一第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，連接于該連接裝置之上，其可沿該第二水平方向往復(fù)地帶動(dòng)該連接裝置；以及

一第二驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，用來(lái)往復(fù)地帶動(dòng)該第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以使該第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可沿該第二水平方向往復(fù)地帶動(dòng)該連接裝置。

6.如權(quán)利要求5所述的液體噴灑裝置，其中該第一及第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)都包括一轉(zhuǎn)盤(pán)及一連桿，該連桿連接于該連接裝置與該轉(zhuǎn)盤(pán)靠近圓周的部分，該第一及第二驅(qū)動(dòng)馬達(dá)分別驅(qū)動(dòng)其相對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)盤(pán)并帶動(dòng)其連桿，以使該連接裝置能分別于該第一及第二水平方向往復(fù)地被帶動(dòng)。

7.如權(quán)利要求5所述的液體噴灑裝置，其中該連接裝置包括有一第一固定框架及一第二固定框架，該第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接于該第一固定框架之上，以沿該第一水平方向往復(fù)地帶動(dòng)該第一固定框架，該第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接于該第二固定框架之上，以沿該第二水平方向往復(fù)地帶動(dòng)該第二固定框架。

8.如權(quán)利要求7所述的液體噴灑裝置，其中該輸送管用兩萬(wàn)向軸承以可轉(zhuǎn)動(dòng)的方式裝設(shè)于該第一固定框架及該第二固定框架上，該輸送管并與其中一萬(wàn)向軸承以可相互滑動(dòng)的方式設(shè)置，與另一萬(wàn)向軸承以不可相互滑動(dòng)的方式設(shè)置。

9.如權(quán)利要求1所述的液體噴灑裝置，其另包括有多根圓管，水平地安裝于該內(nèi)艙的上側(cè)，用來(lái)傳送該液體，該多個(gè)輸送管固定于該多根圓管之下，用來(lái)將該多根圓管內(nèi)的液體向下噴灑至該基板上。

10.如權(quán)利要求1所述的液體噴灑裝置，其中該液體為一顯影液，該基板上設(shè)有一已曝光的光致抗蝕劑層，該驅(qū)動(dòng)裝置可沿不同的方向移動(dòng)該多個(gè)噴嘴以使該多個(gè)噴嘴得以由不同的方向?qū)⒃撘后w噴灑至該基板上來(lái)沖洗該光致抗蝕劑層。